快速變焦的超穎透鏡製程技術

Abstract

透鏡被廣泛應用在生活中來達到成像、聚焦的效果。隨著電腦計算能力的進步以及製程技術的成熟，設計次波長結構的人造表面，我們稱之為超穎介面。以許多次波長組成的介面調製電磁波相位、偏振、振幅，來達到超越傳統透鏡的光學特性，也就成了我們熟知的超穎透鏡。在本篇論文中，我們使用半導體製程技術的方法來製造超穎透鏡。在藍寶石基板上選擇氮化鎵作為元件材料，使用電子束微影的技術使用負光阻(NEB22-A2)畫出奈米線寬圖形，再由上而下的蝕刻方法得到氮化鎵奈米柱。本篇論文的最後，架設光路量測自製設計的超穎透鏡，結合扭曲向列型液晶(TN-LC)。成功量測到在不同極化下的入射光，通過自製超穎透鏡有著不同的聚焦點。