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http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/79518| 標題: | 快速變焦的超穎透鏡製程技術 Rapid varifocal metalenses fabrication technology |
| 作者: | Ming-Yu Tsai 蔡明侑 |
| 指導教授: | 蘇國棟(Guo-Dung J. Su) |
| 關鍵字: | 超穎介面,超穎透鏡,氮化鎵,電子束微影,奈米柱,扭曲向列型液晶, metasurface,metalens,Gallium Nitride,e-beam lithography,nanopillar,twisted nematic liquid crystal, |
| 出版年 : | 2022 |
| 學位: | 碩士 |
| 摘要: | 透鏡被廣泛應用在生活中來達到成像、聚焦的效果。隨著電腦計算能力的進步以及製程技術的成熟，設計次波長結構的人造表面，我們稱之為超穎介面。以許多次波長組成的介面調製電磁波相位、偏振、振幅，來達到超越傳統透鏡的光學特性，也就成了我們熟知的超穎透鏡。在本篇論文中，我們使用半導體製程技術的方法來製造超穎透鏡。在藍寶石基板上選擇氮化鎵作為元件材料，使用電子束微影的技術使用負光阻(NEB22-A2)畫出奈米線寬圖形，再由上而下的蝕刻方法得到氮化鎵奈米柱。本篇論文的最後，架設光路量測自製設計的超穎透鏡，結合扭曲向列型液晶(TN-LC)。成功量測到在不同極化下的入射光，通過自製超穎透鏡有著不同的聚焦點。 |
| URI: | http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/79518 |
| DOI: | 10.6342/NTU202200367 |
| 全文授權: | 同意授權(全球公開) |
| 顯示於系所單位： | 光電工程學研究所 |
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| U0001-0802202211552700.pdf | 5.75 MB | Adobe PDF | 檢視/開啟 |
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