基於化學氣相沉積與昇華的製程構建金屬有機框架

Abstract

金屬有機框架(MOF)在氣體儲存、微電子(MEMS)和醫學領域的潛在應用而備受關注。因此，利用MOF實現設備的應用需要合成方法來製造出精細的MOF。此外，近年來有機溶劑在醫學上是有毒的，伴隨著環境污染、易燃危險和成本增加等問題。針對MOFs來說，各種無溶劑合成方法已經被報導。開發一種能夠合成緻密MOFs的方法也是可取的，例如MEMS的MOFs。在這項研究中，我們建立了一種簡單的方法，通過CVD合成方法，僅使用少量的有機溶劑合成MOFs，通過RGA和IR合成MOFs所需的有機連接劑，並通過XRD和SEM鑑定合成的MOFs。得到極薄的MOF薄膜（約5μm），有望應用於MEMS。傳統合成方法中經常使用的ALD，是一種極其專業的儀器，而CVD是一種通用的實驗工具，在工業上已被廣泛使用，使得MOFs的合成更加方便。這項研究還證明了一種新的圖案化策略的應用，因為金屬前體可以通過無溶劑的加工而任意排列。