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DC 欄位 | 值 | 語言 |
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dc.contributor.advisor | 廖運炫 | |
dc.contributor.author | Wei-Cheng Liu | en |
dc.contributor.author | 劉韋承 | zh_TW |
dc.date.accessioned | 2021-06-13T03:21:19Z | - |
dc.date.available | 2006-07-31 | |
dc.date.copyright | 2006-07-31 | |
dc.date.issued | 2006 | |
dc.date.submitted | 2006-07-27 | |
dc.identifier.citation | 1. http://www.openknowhow.com.tw/html/machine/2003-11/mm02.htm, MM機械技術雜誌
2. M. Yamamoto, I. Kanno, S. Aoki, “Profile measurement of high aspect ratio micro structures using a tungsten carbide micro cantilever coated with PZT thin films,” Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2000, pp.217~222 3. B.J. Kim, Y. Sawamoto, T. Masuzawa, M. Fujino, “Advanced vibroscanning method for microhole measurement - height speed and stability improvement of measurement technique -,” International Journal of Electrical Machining, No. 1, 1996, pp.41~44 4. T. Masuzawa, M. Fujino, “Wire electro discharge grinding for micro machining,” Annals of the CIRP, Vol. 34/1, 1985, pp.431~434 5. T. Masuzawa, B.J. Kim, C. Bergaud, M. Fujino , “Twin-probe vibroscanning method for dimensional measurement of microholes,” Annals of the CIRP, Vol. 46/1, 1997, pp.437~440 6. B.J. Kim, T. Masuzawa, H. Fujita, A. Tominaga, “Dimensional measurement of microholes with silicon-based micro twin probes,” Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1998, pp.334~339 7. B.J. Kim, T. Masuzawa, T. Bourouina, “The vibroscanning method for the measurement of micro-hole profiles,” Measurement Science and Technology, Vol. 10, No. 8, 1999, pp.697~705 8. M. Yamamoto, H. Takeuchi, S. Aoki, “Dimensional measurement of high aspect ratio micro structures with a resonating micro cantilever probe,” Microsystem Technologies, Vol. 6, No. 5, 2000, pp.179~183 9. E. Lebrasseur, J.B. Pourciel, T. Bourouina, T. Masuzawa, H. Fujita, “A new characterization tool for vertical profile measurement of high-aspect-ratio microstructures,” Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 12, No. 3, 2002, pp.280~285 10. J.B. Pourciel, L. Jalabert, T. Masuzawa, “Profile and surface measurement tool for high aspect-ratio microstructures,” JSME International Journal, Series C: Mechanical Systems, Machine Elements and Manufacturing, Vol. 46, No. 3, 2003, pp.916~922 11. J.B. Pourciel, L. Jalabert, T. Masuzawa, “SDAPPLIN, a method for 2D profiling on high aspect ratio microstructures. Improvement for 3D surfacing,” Proceedings of the 30th SEIKEN Symposium on Micro/Nano Mechatronics, Japan, March 25~26, 2002, pp.136~138 12. S. Yang, S. Li, M.J. Kaiser, F.H. Kwun, “A probe for the measurement of diameter and form errors of small holes,” Measurement Science and Technology, Vol. 9, No. 9, 1998, pp.1365~1368 13. 陳順同,微CNC綜合加工機研發與微元件製造研究,博士論文,國立台灣大學機械工程學研究所,2005。 14. 吳秉翰,微元件內部垂直輪廓量測系統之研究,碩士論文,國立台灣大學機械工程學研究所,2005。 15. 楊明亮、翁鎮,機電實驗,鼎茂圖書出版公司,1998,第1-15~1-17頁 16. 蒙文舜、楊運經、劉雲鵬,電容傳感器的原理與應用,西北農林科技大學生命科學學院,2003。 17. L.K. Baxter, “Capacitive sensors – design and application,” IEEE Press, 1997, pp.38~212 18. 林國榮,電磁干擾及控制,全華科技圖書股份有限公司,2002,第1~95頁。 19. 楊武智,運算放大器電路設計,全華科技圖書股份有限公司,2001,第152~196頁。 20. 廖財昌,電子裝置之雜訊對策法,全華科技圖書股份有限公司,1988,第1~93頁。 21. 廖財昌,雜訊探究與誤動作防止對策,全華科技圖書股份有限公司,1990,第149~197頁。 22. 陳志龍,智慧型高速真圓度測定儀模擬系統及演算法,碩士論文,國立台灣大學電機工程學研究所,2002。 23. 范光照、張郭益,精密量測,高立圖書有限公司,2001,第236~238頁。 24. A. Okabe, B. Boots, and K. Sugihara, Spatial Tessellations:Concepts and Applications of Voronoi Diagrams, Chichester, England ; New York : Wiley & Sons, 1992, pp.215~223 25. 蔡朝洋,電子學實驗,全華科技圖書股份有限公司,1997,第617~625頁。 26. 蕭子健,LabVIEW入門篇,高立圖書有限公司,2002。 27. 覺文郁、白永耀、詹全安、陳俊仁,一種簡單旋轉軸誤差量系統之開發,機械月刊,第三十一卷,第三期,2005,三月,第94~105頁 28. 孫葆銓、孫樂南 譯,機械準確性的基礎,適齊企業有限公司出版部,1982,第251~276頁。 29. 范光照,張郭益,精密量測,高立圖書有限公司,2001,第189~191頁。 | |
dc.identifier.uri | http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/31824 | - |
dc.description.abstract | 本論文利用電容附加在探針上的觀念,以及輔以旋轉平台與程式做點資料的轉換,發展一套微孔輪廓量測系統,進而可以量測具有高深寬比特徵的微孔洞並演算其各層的真圓度。先以1級塊規驗證量測系統的重現性誤差達到±0.78μm ,再量測塊規之水平與垂直輪廓,所得到真直度誤差為1μm,達到最大量測深度為15mm。最後成功量測Φ1.0mm,深度10mm的微孔,描繪出微孔全輪廓,也計算出每1mm深度的截面真圓度和軸心偏斜度。 | zh_TW |
dc.description.abstract | A system for measuring the profile of a microhole is developed. The principle of capacitance is adopted and a device to sense the variation of capacitance when the probe touches the workpiece is designed. With the aid of the rotation stage, positions around the contour can be measured. The measured coordinates are transformed by an algorithm proposed in this paper. The developed system is capable of measuring the interior profile of a high aspect ratio microhole, and caculating its roundness. The estimated repeatability around ±0.78μm is obtained by measuring the grade A gauge block. The maximum depth of a Φ1.0mmmicro-hole that can be measured is 15mm. A Φ1.0mm microhole of 10mm depth was successfully measured and its interior profile was described. Moreover, the roundness of each cross-section at every 1 mm depth increment and the inclination of axis of the micro-hole were calculated. | en |
dc.description.provenance | Made available in DSpace on 2021-06-13T03:21:19Z (GMT). No. of bitstreams: 1 ntu-95-R93522722-1.pdf: 5535379 bytes, checksum: dc122ac94faf68aec76b8a00ac69c23f (MD5) Previous issue date: 2006 | en |
dc.description.tableofcontents | 摘要 I
Abstract II 目錄 III 圖目錄 V 表目錄 IX 符號對照表 X 第一章 緒論 1 1-1 研究動機 1 1-2 文獻回顧 2 1-3 研究目的與方法 7 1-4 論文架構 8 第二章 原理介紹 9 2-1 電容感測原理 9 2-1-1 電容原理 9 2-1-2 電容感測之轉換元件 10 2-1-3 電容感測之感測電路 14 2-1-4 雜訊干擾防制 18 2-2 幾何形狀工差 29 2-2-1 幾何工差及定義 29 2-2-2 形狀公差之演算法探討 33 第三章 量測設備與量測方法 37 3-1 感測電路 37 3-1-1 555無穩態電路 38 3-1-2 雜訊防制 39 3-2 波型處理程式 43 3-2-1 LabVIEW程式設計 44 3-3 量測探針設計 49 3-3-1 探針形狀探討 49 3-3-2 探針之製造流程 53 3-4 旋轉與移動量測平台 55 3-5 量測數據擷取方法 57 第四章 量測機制與點資料後處理 59 4-1 探針與旋轉平台量測機制 59 4-2 旋轉軸量測與電容感測誤差處理 62 4-3 真圓度演算法 66 4-3-1 最小平方圓法(Least Squares Method) 66 4-3-2 最小外接圓法(Minimum Circumscribe Method) 67 4-3-3 最大內切圓法(Minimum Inscribe Method) 68 4-3-4 最小環帶圓法(Minimum Zone Circle) 68 4-3-5 決定圓柱軸心的方法 72 第五章 實驗驗證方法與結果 74 5-1 實驗驗證方法 74 5-1-1 系統重現性估算 74 5-1-2 塊規水平與垂直輪廓量測 75 5-1-3 旋轉軸量測 76 5-1-4 圓輪廓量測驗證 77 5-1-5 微孔輪廓量測 78 5-2 實驗結果 79 5-2-1 系統重現性估算結果 79 5-2-2 塊規水平輪廓量測結果 80 5-2-3 塊規垂直輪廓量測結果 81 5-2-3 旋轉軸量測結果 82 5-2-4 圓輪廓量測驗證結果 82 5-2-5 微孔輪廓量測結果 83 第六章 結論與未來展望 85 6-1 結論 85 6-2 未來展望 86 參考文獻 87 附錄A 最小平方和方法估算真直度 90 A-1 估算原理 90 A-2 塊規水平輪廓之真直度誤差估算 91 A-3 塊規垂直輪廓之真直度誤差估算 92 附錄B 孔徑1mm金屬孔各截面之真圓度 93 作者簡歷 109 | |
dc.language.iso | zh-TW | |
dc.title | 微孔輪廓量測系統之研究 | zh_TW |
dc.title | The study for dimensional measurement of microholes | en |
dc.type | Thesis | |
dc.date.schoolyear | 94-2 | |
dc.description.degree | 碩士 | |
dc.contributor.oralexamcommittee | 蔡曜陽,修芳仲,陳順同 | |
dc.subject.keyword | 微孔量,測,高深寬比,電容感測, | zh_TW |
dc.subject.keyword | Microhole measuring system,High aspect ratio,Capacitance-sencing, | en |
dc.relation.page | 109 | |
dc.rights.note | 有償授權 | |
dc.date.accepted | 2006-07-30 | |
dc.contributor.author-college | 工學院 | zh_TW |
dc.contributor.author-dept | 機械工程學研究所 | zh_TW |
顯示於系所單位: | 機械工程學系 |
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