常壓電漿於鈣鈦礦太陽能電池之應用

Abstract

在本研究中，引入了高溫的氮氣常壓直流脈衝噴射電漿（APPJ）將醋酸鎳轉化為緻密且連續的氧化鎳化合物薄膜。研究中分析了經由電漿轉換後的氧化鎳薄膜的光學及電學特性，以證實薄膜的p型半導體性質。然而，由於薄膜和基材之間的熱膨脹係數不同，在短時間煅燒時，一些皺紋產生在薄膜表面。在經過長時間的電漿鍛燒後，其皺紋消失，成功形成緻密且連續的氧化鎳薄膜。由XPS的結果可以發現，金屬鎳的含量隨著電漿的鍛燒時間增加而有增加後減少的趨勢。由於電漿中含有電子與離子，且有許多複雜的化學反應，因此，可以同時引起氧化及還原反應。當氧化鎳薄膜具有高金屬鎳含量時，薄膜具有類金屬特性。相反地，金屬鎳含量低的氧化鎳薄膜表現出良好的半導體特性。經由電漿鍛燒的氧化鎳薄膜也應用於鈣鈦礦太陽能電池中的電洞傳輸層。電漿鍛燒時間為120秒時的鈣鈦礦太陽能電池，其性能可媲美傳統以加熱板轉換的鈣鈦礦太陽能電池。以結果展現出了電漿於製備氧化鎳薄膜應用於鈣鈦礦太陽能電池的可行性。 而另一種低溫氦氣常壓介質放電噴射電漿（DBD jet）則應用於對氧化鎳薄膜進行表面改質。此電漿使用了較低崩潰電壓的氦氣，與可以降低電漿電流的介電質，電漿的工作溫度始終低於40℃。經電漿處理後，氧化鎳薄膜的透光率和潤濕性得到改善。較高的透光率可使更多的光穿透至鈣鈦礦薄膜。更好的潤濕性增強了電洞傳輸層與鈣鈦礦層之間的界面接觸，並且為鈣鈦礦薄膜沉積提供了更好的條件。此外，電漿的處理加深氧化鎳的價帶，這提供了與鈣鈦礦層中，有更好的能帶匹配。而較好的鈣鈦礦結晶和能帶匹配可以抑制電荷複合以提升鈣鈦礦太陽能電池的效能。然而，與高溫的電漿處理相比，低溫的電漿處理對於鈣鈦礦太陽能電池的效能提升較不明顯。這表示了高溫和電漿中的高反應自由基的協同作用可以顯著地提高對於薄膜表面改質的效果。