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http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/51629| Title: | 高溫超導量子干涉元件之製程與特性研究-使用回收雙晶基板 Fabrication and Characteristics of high-Tc Superconducting Quantum Interference Devices Using Recycled Bi-crystal Substrates |
| Authors: | Yen-Ru Chen 陳衍儒 |
| Advisor: | 王立民 |
| Keyword: | 高溫超導,釔鋇銅氧,約瑟芬結,量子穿隧元件, High temperature superconductor,YBCO,Josephson Junction,Quantum tunneling device, |
| Publication Year : | 2016 |
| Degree: | 碩士 |
| Abstract: | 本研究探討雙晶式結構的超導量子干涉儀(SQUID)元件的製作方式，主要目的有兩個部分，第一部分為自行研磨拋光回收雙晶鈦酸鍶(SrTiO3)基板，第二部分是設計SQUID光罩圖案，利用雷射濺鍍系統將超導體釔鋇銅氧(YBa2Cu3O7-δ)成長於自行拋光回收的雙晶鈦酸鍶基板上，結合自行設計SQUID圖案，藉以製作出降低成本且品質良好的SQUID 元件。
由測量結果得知，自行研磨拋光的基板表面平整且無破壞晶格結構，可成長高品質的高溫超導薄膜於拋光基板上，配合SQUID圖案設計，量測出SQUID的特性曲線與雜訊頻譜分析，提供一個低成本製作SQUID元件的方法。 |
| URI: | http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/51629 |
| Fulltext Rights: | 有償授權 |
| Appears in Collections: | 物理學系 |
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