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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2016 | 利用電漿增強型原子層沉積技術製作前瞻性高介電材料於金氧半電容元件以及鰭式場效電晶體之研究 High-K Dielectrics Prepared by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition and its Applications in MOS capacitors and FinFETs | Meng-Chen Tsai; 蔡孟辰 | 材料科學與工程學研究所 |
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系所
學位
- 1 博士
指導教授
- 1 陳敏璋
關鍵字
- 1 atomic layer deposition (ald),pla...
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- 1 原子層沉積技術
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