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http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/31823
標題: | 原子力顯微鏡於高定向熱解石墨製作奈米結構之研究 Fabrication of nanostructure on Highly Oriented Pyrolytic Graphite (HOPG) by atomic force microscope. |
作者: | Huan-Jiun Tian 田煥均 |
指導教授: | 張顏暉 |
關鍵字: | 原子力顯微鏡,高定向熱解石墨,陽極氧化, AFM,HOPG,anodic oxidation, |
出版年 : | 2006 |
學位: | 碩士 |
摘要: | 本論文使用原子力顯微鏡微影術(Atomic Force Microscopy -Lithography,AFM-Lithography),運用導電探針加電壓方式,直接在高定向熱解石墨(Highly Oriented Pyrolytic Graphite)表面上產生局部場致陽極氧化(Tip-Induced Local Anodic Oxidation)來製作奈米結構。
原子力顯微鏡具有高解析度的特性,利用原子力顯微鏡微影所製作出來的氧化圖案可達奈米級尺度,因此我們藉由外加不同電壓以及改變掃描速率,來探討外加電壓與掃描速率各自對氧化線深度的關係,並且比較不同相對濕度下氧化線深度的差異。 本論文同時對如何取得石墨薄膜,以及製備可供量測樣品的製程,做了詳盡的敘述,此過程需要繁複的製作流程與精確的參數控制,方能製作出結構良好的樣品。其製程包括:光微影,三次的金屬蒸鍍與剝離,兩次電子束微影,製備石墨薄膜,原子力顯微鏡量測與定位,最後利用電子顯微鏡或原子力顯微鏡觀察蒸鍍結果,確認蒸鍍的金屬線是否有接到石墨。 |
URI: | http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/31823 |
全文授權: | 有償授權 |
顯示於系所單位: | 物理學系 |
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