瀏覽 的方式: 關鍵字 z-cut quartz,single crystal silicon,etch rate,miller indices,two dimensional etch theory,
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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
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2012 | 單晶矽與石英之蝕刻速率研究 Study of Etching Rate for Single Crystal Silicon and Quartz | Keng-Wei Chang; 張耕瑋 | 應用力學研究所 |