瀏覽 的方式: 作者 Jhih-Jie Huang
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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
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2014 | 利用遠程電漿輔助原子層沉積技術製作摻雜氮之結晶化高介電常數金屬閘極堆疊之研究 Study of Nitrogen-doped Crystalline High-K/Metal Gate Stacks Prepared by Remote Plasma Atomic Layer Deposition | Jhih-Jie Huang; 黃芝傑 | 材料科學與工程學研究所 |