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http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/36796
標題: | 微型矽晶圓環陀螺儀的振動分析 Vibrating analysis of silicon ring-type micro gyroscope |
作者: | Wen-Chang Yang 楊文彰 |
指導教授: | 張家歐 |
關鍵字: | 矽晶,陀螺儀, silicon,gyroscope, |
出版年 : | 2005 |
學位: | 碩士 |
摘要: | 本文是探討將矽晶圓非等向性的材料性質引入到圓環的頻率推導中,觀察非等向性對圓環自然振動頻率造成的影響,之後比較有無 項對振動頻率的影響。比較由非等向性(100)與等向性(111)晶圓製造的圓環因為非等向性所產生的頻率差異,由於非等向性造成(100)的 與 模態的頻率不相同,因此考慮新式的圓環將兩個模態的頻率調整成相同,以確保引入角速度後能將 模態激發起來,以降低量測角速度時的誤差。接著引入角速度並且利用電極激發圓環,藉由Lagrange’s equation推導出運動方程式,考慮兩種類型的驅動電壓去驅動圓環振動,使用數值解的方式解出(100)與(111)的圓環振幅大小,並且探討不同電壓與角速度值對於振幅大小的影響,之後利用微擾法(perturbation method)解出振幅比值與角速度的解析解。使用套裝軟體去模擬(100)與(111)圓環的振動頻率,並與推導的理論值互相比較,最後模擬加入支撐架的圓環,並與未加入支撐架的圓環的振動頻率做一比較。 |
URI: | http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/36796 |
全文授權: | 有償授權 |
顯示於系所單位: | 應用力學研究所 |
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