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2016
常壓PECVD系統氣流場與電漿含前驅物硝酸鋅反應之模擬研究
Flow Field and Plasma Reaction with Precursor Zinc Nitrate in a PECVD System
Pei-Rong Li; 李佩蓉
機械工程學研究所
探索
系所
1
機械工程學研究所
學位
1
碩士
作者
1
pei-rong li
1
李佩蓉
關鍵字
1
pecvd
1
pecvd,appj
1
pecvd,appj,simulation
1
pecvd,appj,simulation,precursor
1
pecvd,appj,simulation,precursor,z...
1
電漿輔助化學氣相沉積
1
電漿輔助化學氣相沉積,氮氣常壓噴流式電漿
1
電漿輔助化學氣相沉積,氮氣常壓噴流式電漿,數值模擬
1
電漿輔助化學氣相沉積,氮氣常壓噴流式電漿,數值模擬,前驅物
1
電漿輔助化學氣相沉積,氮氣常壓噴流式電漿,數值模擬,前驅物,硝酸鋅
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出版年
1
2016
全文授權
1
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1
true
