奈米碳管應變感測器之設計與研究

Wei-Chih Lin; 林威志

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DC 欄位	值	語言
dc.contributor.advisor	張所鋐
dc.contributor.author	Wei-Chih Lin	en
dc.contributor.author	林威志	zh_TW
dc.date.accessioned	2021-06-13T07:06:12Z	-
dc.date.available	2006-07-30
dc.date.copyright	2005-07-30
dc.date.issued	2005
dc.date.submitted	2005-07-27
dc.identifier.citation	[1] C Mar. , M D Serrano, N Yao and A G Ostrogorsky,Nanotechnology 14 (2003) L4–L5 [2] R. Andrews, D. Jacques, D. Qian, T. Rantell, Acc. Chem. Res. 2002, 35, 1008-1017 [3] http://physicsweb.org/articles/world/11/1/9/1 [4] A. Javey, Q. Wang, W. Kim, H. Dai, IEEE International Electron Devices Meeting, 8-10(2003)31.2.1-4 [5] A. Javey, J. Guo, Q. Wang, M. Lundstrom, H. Dai, Nature 424(2003)654-657 [6] Min-Feng Yu, Oleg Lourie, Mark J. Dyer, Katerina Moloni, Thomas F. Kelly, Rodney S. Ruoff, 28 JANUARY 2000 VOL 287 SCIENCE [7] Prasad Dharap, Zhiling Li, Satish Nagarajaiah and E V Barrera, Nanotechnology 15 (2004) 379–382 [8] Jien Cao, Qian Wang, and Hongjie Dai, PHYS. REV. LETT.(2003), VOL. 90, No. 15
dc.identifier.uri	http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/35712	-
dc.description.abstract	自從奈米科技成為21世紀世界各國重點發展的部份之一，奈米材料的發現尤其是奈米碳管，成為近十多年來學界致力研究的對象，它提供了一個新的方向，去解決目前所遇到而難以解決的問題。本論文即利用奈米碳管的特性藉由ANSYS○R來設計模擬結構，同時藉模擬的結果來看設計的奈米碳管應變感測器參數在一定的力量下，可得到的應變量大小，來推算奈米碳管在受力後可能的伸長量。接著利用微機電製程技術來實現設計的結構。最後利用儀器來量測，施予不同力、不同位移、不同電壓下的系統不同的特性表現，最後推算系統的應變規因子（Gauge Factor, G.F.）。	zh_TW
dc.description.provenance	Made available in DSpace on 2021-06-13T07:06:12Z (GMT). No. of bitstreams: 1 ntu-94-R92522803-1.pdf: 6425661 bytes, checksum: 0e478a7fdac1224192c9cce5298e7ab8 (MD5) Previous issue date: 2005	en
dc.description.tableofcontents	中文摘要 ................................................I 英文摘要 ...............................................II 目錄 ..............................................III 圖例目錄 ................................................V 表格目錄 ...............................................IX 第1章緒論 ............................................1-1 1.1 研究背景 ..........................................1-1 1.1.1 奈米碳管發展與研究...............................1-1 1.2 電阻式應變規（ELECTRIC RESISTANCE STRAIN GAUGE）...1-8 1.3 文獻回顧 .........................................1-10 1.3.1 奈米碳管的機械性質 .............................1-10 1.3.2 奈米碳管應用 ....................................1-12 第2章奈米碳管應變感測器設計與模擬 ...................2-1 2.1 基礎設計架構 .....................................2-1 第3章實驗設備與製程 .................................3-1 3.1 微奈米機電製程技術 ............................3-1 3.1.1 微影製程技術 .....................................3-1 3.1.2 蝕刻技術 .....................................3-3 3.2 製程規劃 .....................................3-6 3.3 裝置製程 .....................................3-7 3.4 生長奈米碳管 ....................................3-15 第4章實驗規劃與結果分析 ............................4-1 4.1 奈米碳管機電性量測 ............................4-2 4.2 系統實驗量測 ....................................4-15 4.3 實驗結果討論 ....................................4-62 第5章結論與未來展望 ............................5-1 參考文獻 R1 作者簡歷
dc.language.iso	zh-TW
dc.subject	應變規因子	zh_TW
dc.subject	奈米碳管	zh_TW
dc.subject	微機電製程	zh_TW
dc.subject	MEMS process	en
dc.subject	Gauge factor	en
dc.subject	Carbon nanotubes	en
dc.title	奈米碳管應變感測器之設計與研究	zh_TW
dc.title	Design and Research of Carbon Nanotube Strain Gauge	en
dc.type	Thesis
dc.date.schoolyear	93-2
dc.description.degree	碩士
dc.contributor.oralexamcommittee	黃榮山,施文彬
dc.subject.keyword	奈米碳管,微機電製程,應變規因子,	zh_TW
dc.subject.keyword	Carbon nanotubes,MEMS process,Gauge factor,	en
dc.relation.page	141
dc.rights.note	有償授權
dc.date.accepted	2005-07-27
dc.contributor.author-college	工學院	zh_TW
dc.contributor.author-dept	機械工程學研究所	zh_TW
顯示於系所單位：	機械工程學系

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