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| DC 欄位 | 值 | 語言 |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 陳銘堯 | |
| dc.contributor.author | Tien-Yu Chen | en |
| dc.contributor.author | 陳天宇 | zh_TW |
| dc.date.accessioned | 2021-06-13T06:54:45Z | - |
| dc.date.available | 2005-08-01 | |
| dc.date.copyright | 2005-08-01 | |
| dc.date.issued | 2005 | |
| dc.date.submitted | 2005-07-27 | |
| dc.identifier.citation | S.J.Pearton, D.P.Norton, K.Ip, and Y.W.Heo, “Recent advances in processing of ZnO”, J.Vac.Sci.Technol.B 22(3), May/June 2004
Y. Li, J. N. Nxumalo, and D. J. Thomson, “Two-dimensional imaging of charge carrier profiles using local metal-semiconductor capacitance-voltage measurment”, J. Vac. Sci. Technol. B, 16(1), Jan/Feb 1998 NT-MDT Co., Solver instruction manual NT-MDT Co., SPM methodology 感謝林明正提供薄膜樣品 G. Koley, and M. G. spencer, “Cantilever effects on the measurement of electrostatic potential by scanning Kelvin probe microscopy”, App. Phys. Lett. 79(4), 23 July 2001 Atsushi Kikukawa, Sumio Hosaka, and Ryo Imura, “Silicon pn junction imaging and characterizations using sensitivity enhanced Kelvin probe microscopy”, Appl. Phys. Lett. 66(25), 19 June 1995 | |
| dc.identifier.uri | http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/35481 | - |
| dc.description.abstract | 摘要
我們用原子力顯微鏡(AFM)的非接觸模式來測量參雜氧化鋅樣品的表面電位。透過掃描式克爾文探針顯微鏡技術(Scanning Kelvin probe microscopy)，我們可以得到樣品表面電位的二維分布圖。藉由比較所得影像之明暗對比，也就是電位高低，我們可以判斷出探針下方的樣品是p-type 或是n-type doping。由此建立起一個方便而經濟的定性判斷方法。 | zh_TW |
| dc.description.abstract | Abstract
Non-contact mode of atom force microscopy (AFM) is used in detecting the surface potential of doping ZnO. Using the scanning Kelvin probe microscopy technique, we can get the two dimensional profile of surface potential of the sample. We could determine the region under the probe is either p-type or n-type doped ZnO by comparing the relative light and shade contrast, i.e. the relative height of surface potential, on the image. Thus a simple and economical qualitative method is established. | en |
| dc.description.provenance | Made available in DSpace on 2021-06-13T06:54:45Z (GMT). No. of bitstreams: 1 ntu-94-R90222023-1.pdf: 459067 bytes, checksum: b42261a132140bc523ff020aab470d48 (MD5) Previous issue date: 2005 | en |
| dc.description.tableofcontents | 目錄
1. 簡介 1 2. 原子力顯微鏡 2 2.1 簡介 2 2.2 模式 3 3. 原理介紹 5 3.1 Non-contact mode of AFM 5 3.2 Scanning Kelvin Probe Microscopy (SKPM) 7 4. 儀器架設 8 4.1 樣品的準備 8 4.2 探針的選擇 10 5. 實驗方法 11 6. 實驗數據與分析 12 6.1 樣品一 12 6.2 樣品二 15 6.3 數據分析 20 6.4 結論 21 7. 參考資料 22 | |
| dc.language.iso | zh-TW | |
| dc.subject | 參雜 載子 濃度 種類 氧化鋅 | zh_TW |
| dc.subject | AFM ZnO doping | en |
| dc.title | 以AFM測量參雜ZnO之載子種類及濃度 | zh_TW |
| dc.type | Thesis | |
| dc.date.schoolyear | 93-2 | |
| dc.description.degree | 碩士 | |
| dc.contributor.oralexamcommittee | 陳政維,石明豐 | |
| dc.subject.keyword | 參雜 載子 濃度 種類 氧化鋅, | zh_TW |
| dc.subject.keyword | AFM ZnO doping, | en |
| dc.relation.page | 22 | |
| dc.rights.note | 有償授權 | |
| dc.date.accepted | 2005-07-28 | |
| dc.contributor.author-college | 理學院 | zh_TW |
| dc.contributor.author-dept | 物理研究所 | zh_TW |
| 顯示於系所單位： | 物理學系 | |
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| 檔案 | 大小 | 格式 | |
|---|---|---|---|
| ntu-94-1.pdf 未授權公開取用 | 448.31 kB | Adobe PDF |
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