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http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/35132| 標題: | 奈米壓印之印器與壓印 Mold Fabrication and Nanoimprint |
| 作者: | Ji-Jheng Shih 施繼正 |
| 指導教授: | 謝志誠 |
| 關鍵字: | 奈米壓印,微機電,奈米機電,光阻材料, Nanoimprint,Hot-embossing,Electron beam,Mold, |
| 出版年 : | 2005 |
| 學位: | 碩士 |
| 摘要: | 奈米壓印(Nanoimprint lithography, NIL)是一種低成本且具有高生產力的非傳統微影技術。奈米印器（即母模）之製造上，將採用電子束微影技術及電感式耦合電漿乾蝕刻的製程進行，製造出高深寬比之母模結構。壓印設備系統上，將採用熱壓印技術，進行奈米結構之圖形轉移。 The project is aimed at developing the mold fabrication and the imprinting recipe for nano-imprint (NIL). For fabrication of a nano-imprinting mold, the electron beam lithography and ICP(Inductively Coupled Plasma) dry etching will be mainly employed to structure the mold of high aspect ratio. As for the nano-imprinting process, the hot-embossing will be employed, and the molds will be tested to form the nanopatterns, and then replicate the pattern to the polymer on the substrate. |
| URI: | http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/35132 |
| 全文授權: | 有償授權 |
| 顯示於系所單位： | 生物機電工程學系 |
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| ntu-94-1.pdf 未授權公開取用 | 5.12 MB | Adobe PDF |
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