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http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/35132
標題: | 奈米壓印之印器與壓印 Mold Fabrication and Nanoimprint |
作者: | Ji-Jheng Shih 施繼正 |
指導教授: | 謝志誠 |
關鍵字: | 奈米壓印,微機電,奈米機電,光阻材料, Nanoimprint,Hot-embossing,Electron beam,Mold, |
出版年 : | 2005 |
學位: | 碩士 |
摘要: | 奈米壓印(Nanoimprint lithography, NIL)是一種低成本且具有高生產力的非傳統微影技術。奈米印器(即母模)之製造上,將採用電子束微影技術及電感式耦合電漿乾蝕刻的製程進行,製造出高深寬比之母模結構。壓印設備系統上,將採用熱壓印技術,進行奈米結構之圖形轉移。 The project is aimed at developing the mold fabrication and the imprinting recipe for nano-imprint (NIL). For fabrication of a nano-imprinting mold, the electron beam lithography and ICP(Inductively Coupled Plasma) dry etching will be mainly employed to structure the mold of high aspect ratio. As for the nano-imprinting process, the hot-embossing will be employed, and the molds will be tested to form the nanopatterns, and then replicate the pattern to the polymer on the substrate. |
URI: | http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/35132 |
全文授權: | 有償授權 |
顯示於系所單位: | 生物機電工程學系 |
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