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http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/33315
標題: | 微型(100)矽晶圓環陀螺儀之振動分析與最佳化設計 The analysis and optimal design of (100) silicon vibrating ring gyroscope |
作者: | Chia-Hao Shen 沈家豪 |
指導教授: | 張家歐 |
關鍵字: | 陀螺儀,振動分析,頻率偏移, gyroscope,vibration analysis,frequency split, |
出版年 : | 2006 |
學位: | 碩士 |
摘要: | 研究摘要
由於(100)矽晶圓具有非等向性的材料性質,會造成圓環in-plane中 與 兩個模態的頻率偏移,因此本文主要探討設計一變動寬度的新式圓環結構,來將兩個模態的頻率調整成一致,一方面確保引入角速度後能將 模態激發起來,以做為腳速度感測指標。本文首先將Timoshenko beam theory應用在圓環的推導中,探討其影響並與Euler beam theory比較,接著正式探討新式的圓環,利用Hamilton’s principle推討運動方程式,求得最佳設計變數,而後加入兩型電壓的驅動與單軸角速度的效應,利用多重尺度法真正求解出兩模態振幅的解析解,並且推導與討論Phase lock的效應。最後使用有限元素分析軟體配合上最佳化方法求得圓環最佳參數值,並與理論比較之。 |
URI: | http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/33315 |
全文授權: | 有償授權 |
顯示於系所單位: | 應用力學研究所 |
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