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化學工程學系
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2015
電區熔生長矽及矽鍺合金之晶粒發展與界面型態觀察研究
Evolution of Grain Structures and Morphological Observation of Crystal-Melt Interface during Electric Molten Zone Crystallization of Silicon and Silicon-Germanium Alloy Wafers
Chin-Chun Chen; 陳治均
化學工程學研究所
探索
系所
1
化學工程學研究所
學位
1
碩士
作者
1
陳治均
關鍵字
1
electric molten zone
1
electric molten zone,grain compet...
1
electric molten zone,grain compet...
1
electric molten zone,grain compet...
1
電區熔長晶
1
電區熔長晶,晶粒競爭
1
電區熔長晶,晶粒競爭,矽鍺合金
1
電區熔長晶,晶粒競爭,矽鍺合金,界面型態觀察
出版年
1
2015
全文授權
1
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1
true