瀏覽 的方式: 作者 Kuo-Chan Hsu
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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2014 | 多物理仿真應用於靜電吸盤之晶圓熱傳分析 Multiphysics Modeling and Analysis of Heat Transfer of Wafer on Electrostatic Chuck | Kuo-Chan Hsu; 徐國展 | 應用力學研究所 |
出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
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2014 | 多物理仿真應用於靜電吸盤之晶圓熱傳分析 Multiphysics Modeling and Analysis of Heat Transfer of Wafer on Electrostatic Chuck | Kuo-Chan Hsu; 徐國展 | 應用力學研究所 |