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http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/65931
標題: | 自組裝法製作三維裂環共振器之研究 Fabrication of three dimensional split ring resonators by metal stress-driven assembly method |
作者: | Chih-Ting Hsiao 蕭至廷 |
指導教授: | 蔡定平(Din Ping Tsai) |
關鍵字: | 表面電漿子,超穎材料,裂環共振器, Surfaceplasmon,Metamaterials,Split-ring resonators, |
出版年 : | 2012 |
學位: | 碩士 |
摘要: | 目前最廣泛用來作為超穎材料的結構為裂環共振器(Split Ring Resonators, SRRs),此結構被提出後,便有大量的文章利用理論分析或實驗模擬加以討論,但礙於實驗製程的限制,大部分的SRRs都是二維的結構,這對於要同時激發此結構的電共振模態(入射光電場與此結構開口平行)與磁共振模態(入射光磁場垂直穿過此結構)只能利用斜向入射的方式,使磁場有部分分量穿過此結構來激發磁共振模態,但這樣並無法達到最強的激發效果,因此製作立體(直立式)的裂環共振器成為近年熱門的題目。而製作三維裂環共振器的方法大多繁瑣複雜,本論文中提出了一個相對簡單的製程方法,即先利用電子束微影系統搭配舉離(lift-off)製程在玻璃基板上製作二維類似矩形的金屬結構,接著再使用乾式蝕刻的技術掏空矩形金屬結構兩端底下的玻璃基板,而當金屬結構兩端底下的玻璃基板被掏空之後,會由於金屬沉積時所產生的應力,驅使兩端被拉起進而形成我們所要的結構-三維裂環共振器。此外,當我們加熱此結構時,會由於金屬薄膜的熱脹冷縮而導致此裂環共振器開口大小產生改變。最後本文搭配模擬計算來針對此結構的幾何參數、開口大小及週期疏密對穿透光譜產生的影響做分析。 This paper demonstrates a self-assembly strategy for fabricating three dimensional (3D) metamaterials. This strategy represents the desired 3D curving prongs of the split ring resonators (SRRs) erected by metal stress force with appropriate thin film parameters. Transmittance spectra and field patterns corresponding to each resonance modes are calculated by finite element method (FEM). The eigen-modes of the SRRs can be excited by normal illumination with polarization state parallel to the erected SRRs, which are unlike for the cases of planar SRRs. This method opens a promising fabrication process for the application of tailored 3D SRRs. |
URI: | http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/65931 |
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顯示於系所單位: | 物理學系 |
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