奈米孔洞氧化鋁與壓電陶瓷之複合結構在溼度感測上之表現

Tsung-Jung Yu; 余宗融

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dc.contributor.advisor	謝宗霖(Tzong-Lin Shieh)
dc.contributor.author	Tsung-Jung Yu	en
dc.contributor.author	余宗融	zh_TW
dc.date.accessioned	2021-06-15T05:44:34Z	-
dc.date.available	2012-08-20
dc.date.copyright	2010-08-20
dc.date.issued	2010
dc.date.submitted	2010-08-19
dc.identifier.citation	[1] E. Traversa, 'Ceramic Sensors for humidity detection: the state-of-the-art and future-developments,' Sensors and Actuators B-Chemical, 23, (1995), pp. 135-156. [2] N. Yamazoe and Y. Shimizu, “Humidity sensors: principles and applications,” Sensors and Actuators, 10, (1986), pp. 379–398. [3] W. Gopel, J. Hesse and J. N. Zemel, Sensors: A comprehensive survey, (1992), pp. 981-1012, VCH, Weinheim. [4] O. K. Varghese and C. A. Grimes, 'Metal oxide nanoarchitectures for environmental sensing,' Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 3, (2003), pp. 277-293. [5] T. Morimoto, M. Nagao, and F. Toluda, 'Relation between the amounts of chemisorbed and physisorbed water on metal oxides, ' The JOURNAL of PHYSICAL CHEMISTRY, 73(1), (1969), pp. 243-248. [6] M. Egashira, M. Nakashima, S. Kawasumi, and T. Selyama, 'Temperature programmed desorption study of water adsorbed on metal oxides, ' The JOURNAL of PHYSICAL CHEMISTRY, 85(26), (1981), pp. 4125-4130. [7] J. Joubert, P. Fleurat-Lessard, F. Delbecq, and P. Seutet, 'Simulating temperature programmed desorption of water on hydrated γ-Alumina from first-priciples, ' The JOURNAL of PHYSICAL CHEMISTRY, 110(14), (2006), pp. 7392-7395. [10] Z. Chen and C. Lu, 'Humidity sensors: A review of materials and mechanisms, ' Sensor letters, 3, (2005), pp. 274-295. [11] O. K. Varghese, D. W. Gong, M. Paulose, K. G. Ong, C.A. Grimes and E. C. Dickey, 'Highly ordered nanoporous alumina films : Effect of pore size and uniformity on sensing performance,” Journal of Materials Research, 17, (2002), pp. 1162-1171. [12] B. D. Yan, S. L. meilink, G. W. Warren and P. Wynblatt, 'Water-adsorption and surface conductivity measurements on alpha-alumina substrate, ' Ieee Transactions on components Hybrids and manufacturing, 10, (1987), pp. 247-251 [13] E. McCafferty, 'Adsorption of water vapour on α-Fe2O3, ' Discussions of the Faraday Society, 52, (1971), pp. 239-254. [14] P. M. Faia, C. S. Furtado and A. J. Ferreira, 'AC impedance spectroscopy : a new equivalent circuit for titania thick humidity sensors,' Sensors and Actuators B, 107, (2005), pp. 353-359. [15] F. Li, L. Znang, and Robert M. Metzger, 'On the growth of highly ordered pores in anodized aluminum oxide,” Amecican Chemical Society, 10, (1998), pp. 2470-2480. [16] H. Masuda and K. Fukuda “Ordered Metal Nanohole Arrays Made by a Two-Step Replication of Honeycomb Structures of Anodic Alumina,” Science, 268, (1995), pp. 1466-1468. [17] J. P. O’Sullivan and G. C. Wood, 'The morphology and mechanism of formation of porous anodic films on aluminum, ' Proceedings of the Royal Society of London. Series A, Mathematical and Physical Sciences, 317, (1970), pp. 511-543 [18] H. Masuda, F. Hasegwa, and S. Ono, 'Self-ordering of cell arrangement of anodic porous alumina formed in sulfuric acid solution, ' Joornal of the Electrochemical Society, 44, (1997), pp. L127-L130. [19] O. Jessensky, F. Muller and U. Gosele, 'Self-ordering formation of hexagonal pore arrays in anodic alumina, ' Applied Physics Letters, 72, (1998), pp. 1173-1175 [20] A. P. Li, F. Muller, A. Birner, K. Nielsch and U. Gosele, 'Hexagonal pore arrays with a 50-420 nm interpore distance formed by self –organization in anodic alumina, ' Journal of Applied Physics, 84, (1998), pp. 6023-6026. [21] Z. Wu, C. Richter, and L. Menon, 'A study of anodization process during pore formation in nanoporous alumina templates, ' Journal of The Electrochemical Society, 154, (2007), pp. E8-E12. [22] H. Kuhna, B. Andreausb, A. Wokauna and G.G. Scherera, “Electrochemical impedance spectroscopy applied to polymer electrolyte fuel cells with a pseudo reference electrode arrangement,” Electrochimica Acta, 51, (2006), pp. 1622-1628. [23] C. Schwandt and W. Weppner, “Electrode reactions at oxygen, noble metal stabilized zirconia interfaces,” Chemistry and Materials Science, 3, (2006) pp. 113-122. [24] J. R. Macdonald, Impedance Spectroscopy, (2005), pp. 2-6, John Wiley and Sons, NY. [25] J. R. Macdonald, Impedance Spectroscopy, (2005), pp. 8-13, John Wiley and Sons, NY. [26] J. R. Macdonald, Impedance Spectroscopy, (2005), pp. 14-26, John Wiley and Sons, NY. [27] W.H. Mulder and J.H. Sluyters, “Current at fractal electrodes connection with admittance spectra, “ Journal of Electroanalytical Chemistry 285 (1990) pp.103-115. [28] J. B. Eeden and J. H. Sluyters “The analysis of electrode impedances complicated by the presence of a Ccostant phase element,” Journal of Electroanalytical Chemistry, 176, (1984) pp.275-295. [29] T Pajkossy, “Electrochemistry at fractal surfaces,” Journal of Electroanalytical Chemistry, 300 (1991), pp. 1-11. [30] T. Pajkossy, “Impedance of rough capacitive electrodes,” Journal of Electroanalytical Chemistry, 364 (1991), pp. 111-124. [31] G. Paasch, K. Micaka and P. Gersdorf, “Theory of the electrochemical impedance of macrohomogeneous porous electrodes,” Electrochemica Acta, 38, (1993) pp.2653-2662. [32] P. M. S. Monk, “Charge movement through electrochromic thin film tungsten trioxide,” Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences, 24, (1999), pp. 193-226. [33] J. Curie and P. Curie. Development, par pression, de lelectricite polarise dansles crystaux hemiednes et fares inclines. Comp. Rend., 91, (1880), pp. 294–297, [34] G. J. Lippmann. Principe de la conservation de l’electricite ou second principe de la th’eorie des phenomnes electriques. Annales de chimie et de physique, (1881), 24, pp. 145–177
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dc.description.abstract	在此實驗中，為了解決陶瓷濕度感測器缺乏可逆性的問題，著重於氧化鋁吸附水分子的能力是否會受試片振動而影響，使得氧化鋁在高溼度受振動情況下，得到與低溼度相似的性質。我們利用壓電陶瓷平板與奈米孔洞氧化鋁層式複合結構來達到此目的，藉由選擇此複合結構兩個不同邊界條件之共振頻率，進而使此模型產生振動，嘗試驅散附著在氧化鋁表面的水分子。實驗中所採用的奈米孔洞陽極氧化鋁其孔洞大小範圍約介於35奈米至65奈米之間，將其應用在濕度感測上之研究，將前述複合結構之邊界狀態分為兩類為試片四邊自由與試片四邊固定之邊界條件，分別將其以選擇的兩個共振頻率與更高的三個頻率(300 kHz、600 kHz及900 kHz)進行振動並量測其阻抗值。在相對濕度60%至相對濕度90%下，隨壓電共振頻率增加，在相同量測頻率下對應的阻抗值也隨之增加，此情形在低頻較明顯，此乃由於濕度感測機制在量測頻率為低頻及高頻時主導的機制不相同之原因，在低頻的量測頻率之下為離子積聚效應，吸附之水層與電極間之間的離子將會不均勻地分佈於電極和水層之間;在高頻的量測頻率之下為電荷傳輸機制，吸附於孔洞氧化鋁表面之電荷（H+/H3O+）可經由吸附的水層傳遞，溼度越高電荷傳遞越容易進而阻抗下降。此兩種機制共同組合成其溼度感測能力來源。當此複合結構振動而破壞表面吸附之水層，使得吸附之水層與電極之間的離子更不均勻分布，電荷傳遞更加困難，具體反應在柯爾圖(Cole-Cole plot)及波得圖(Bode plot)的量測頻率處於低頻時，阻抗有明顯增加的現象。以五個壓電振動頻率來看，以頻率300 kHz進行振動時造成的相同量測頻率得到的阻抗值增加最為明顯，而並非以此結構的共振頻率或最高的頻率900 kHz振動有最顯著效果。當此複合結構系統振動時連帶吸附的水層振動，當此水層達到一振動幅度最大的狀況，此現象類似於多個水分子與水分子之間鍵結的共振，能量最能有效地由水分子吸收，則可能造成的水分子之間鍵結的破壞最為顯著，使得吸附之水層與電極間之間的離子極不均勻分布，電荷的傳遞極為困難，在柯爾圖及波得圖上所表現出來的即是相同低量測頻率下阻抗值有最明顯變大趨勢。在適當的環境下，包含外加施予的振動頻率、所處的濕度範圍及量測頻率範圍，可使得在高濕度的振動情況下其濕度感測結果趨近於無振動時低濕度的結果。在此簡介一用以擬合之等效電路元件，稱之為恆定相元素(constant phase element, CPE)，在實驗中其主要物理意義為電極與吸附水層間分布不均勻的情況，其主導的量測頻率範圍主要為低頻，通常為起始量測頻率(50 Hz)至1 kHz的範圍，CPE的影響劇烈表示介面間電荷不均勻分布情況嚴重，此為振動所造成的效果，當量測頻率來到高頻時，CPE影響變弱，因此兩者在高頻時有類似的重疊情形。最後在濕度感測敏性的結果可得知，使用低頻的量測頻率(200Hz~1 kHz)有較佳量測結果。	zh_TW
dc.description.provenance	Made available in DSpace on 2021-06-15T05:44:34Z (GMT). No. of bitstreams: 1 ntu-99-R97527039-1.pdf: 3087952 bytes, checksum: 52a3bcbf9ec20d0eaf0a8c5367d38c49 (MD5) Previous issue date: 2010	en
dc.description.tableofcontents	目錄摘要……………………………………………………………………………………I 目錄…………………………………………………………………………………..III 圖目錄………………………………………………………………………………..VI 表目錄……………………………………………………………………………...XIII 第一章緒論……………………………………………………………………….1 1.1 前言……………………………………………………………………….1 1.2 動機與目的………………………………………………………………..1 1.3 章節簡介.......................................................................................................2 第二章文獻回顧與理論基礎………………………………………………………3 2.1 濕度感測機制……………………………………………………………...3 2.2 奈米孔洞陽極氧化鋁(nanoporous anodic alumina , AAO)……………...6 2.3 電化學交流阻抗頻譜(electrochemical impedance spectroscopy)………...9 2.3.1 電化學阻抗的基本介紹………………………………………………9 2.3.2 阻抗頻譜之介紹與實驗……………………………………………..12 2.3.3 阻抗頻譜於等效電路中之基本分析………………………………..15 2.4 壓電材料與其性質……………………………………………………….17 2.4.1 壓電材料的結構……………………………………………………..17 2.4.2 正反壓電效應之原理..........................................................................18 第三章實驗流程…………………………………………………………………..20 3.1 陽極氧化鋁的製作……………………………………………………….20 3.2 指叉式電極的製作……………………………………………………….21 3.3 陽極氧化鋁與壓電陶瓷平板之複合結構……………………………….22 3.4 阻抗頻譜分析之量測.................................................................................24 第四章實驗結果與討論..........................................................................................26 4.1 FESEM微結構觀察............................................................................................26 4.2 各濕度下之柯爾圖與波得圖............................................................................28 4.2.1 柯爾圖與波得圖........................................................................................28 4.2.2 試片四邊自由狀態下之柯爾圖與波得圖...............................................30 4.2.2.1 RH60%下各振動情形之比較..........................................................30 4.2.2.2 RH70%下各振動情形之比較...........................................................37 4.2.2.3 RH80%下各振動情形之比較...........................................................40 4.2.2.4 RH80%下各振動情形之比較...........................................................43 4.2.3 試片四邊固定狀態下之柯爾圖與波得圖..............................................46 4.2.3.1 RH60%下各振動情形之比較...........................................................47 4.2.3.2 RH60%下各振動情形之比較...........................................................50 4.2.3.3 RH60%下各振動情形之比較...........................................................53 4.2.3.4 RH60%下各振動情形之比較...........................................................56 4.3 等效電路與物理意義模組................................................................................59 4.3.1 阻抗頻譜之擬合........................................................................................61 4.4 各頻率下之濕度感測敏感性.............................................................................71 4.4.1 邊界條件自由狀態下之濕度感測敏感性...............................................71 4.4.2 邊界條件固定狀態下之濕度感測敏感性..............................................76 4.5 系統振動造成之疲勞現象…………………………………………………….79 第五章結論………………………………………………………………………..82 第六章參考文獻......................................................................................................84 圖目錄圖2-1 格羅休斯機制(Grotthus mechanism)之示意圖...........................................3 圖2-2 水分子吸附於表面的四個階段....................................................................4 圖2-3 氧化鋁表面吸附之水層各層結構................................................................5 圖2-4 質子於吸附水層中傳導之示意圖................................................................5 圖2-5 孔洞氧化鋁形成之示意圖............................................................................8 圖2-6 阻抗值(Z)以直角坐標與極座標表達.........................................................10 圖2-7 阻抗元件的串聯示意圖..............................................................................10 圖2-8 阻抗元件的並聯示意圖..............................................................................11 圖2-9 外加電壓與量測電流之示意圖..................................................................13 圖2-10 系統性值確認的測量流程圖......................................................................14 圖2-11 阻抗頻譜中ZR與ZC串聯之表現…………………………………………15 圖2-12 阻抗頻譜中ZR與ZC並聯之表現................................................................16 圖2-13 阻抗頻譜中CPE之表現…………………………………………….……16 圖2-14(a)鈣鈦礦溫度大於居里溫度之結構;(b)鈣鈦礦溫度小於居里溫度之結構 ………………………………………………………………………………………..17 圖2-15 (i)極化前domain方向任意排列 ; (ii)通予一高強度的直流電場使系統極化 ; (iii)移除外加電場，整體系統有極化現象發生。...........................................18 圖2-16 (a)極化過後之系統 ; (b)與(c)為正壓電效應的表現 ; (d)與(e)為反壓電效應的表現。................................................................................................................19 圖3-1 陽極處理完成後的試片..............................................................................20 圖3-2 陽極處理架設圖..........................................................................................21 圖3-3 指叉式電極的尺寸規格..............................................................................21 圖3-4 指叉式電極與試片之示意圖......................................................................21 圖3-5 陽極氧化鋁與壓電陶瓷平板之接著流程圖..............................................22 圖3-6 邊界條件自由之情況..................................................................................23 圖3-7 邊界條件固定之情況..................................................................................23 圖3-8 共振頻率量測之架設圖..............................................................................24 圖3-9 整體量測系統的架設..................................................................................25 圖4-1 FESEM下觀察到的AAO表面.....................................................................26 圖4-2 AAO之孔洞直徑分布圖.............................................................................27 圖4-3 邊界條件自由狀態下之共振頻率................................................................29 圖4-4 未振動時RH60%~90%之柯爾圖.................................................................30 圖4-5(a) 邊界條件自由，RH60%，無振動狀態下與五種振動狀態下之柯爾圖.33 圖4-5(b) 邊界條件自由，RH60%，無振動狀態下與共振頻率振動狀態下之柯爾圖..................................................................................................................................34 圖4-5(c) 邊界條件自由，RH60%，無振動狀態下與高頻振動狀態下之柯爾圖..................................................................................................................................34 圖4-5(d) 邊界條件自由，RH60%，各振動狀態下之波得圖(Z’ vs. f) ...............35 圖4-5(e) 邊界條件自由，RH60%，各振動狀態下之波得圖(-Z” vs. f) ................35 圖4-6(a) 邊界條件自由，RH70%，無振動狀態下與五種振動狀態下之柯爾圖..38 圖4-6(b) 邊界條件自由，RH70%，無振動狀態下與共振頻率振動狀態下之柯爾圖..................................................................................................................................38 圖4-6(c) 邊界條件自由，RH70%，無振動狀態下與高頻振動狀態下之柯爾圖..................................................................................................................................39 圖4-6(d) 邊界條件自由，RH70%，各振動狀態下之波得圖(Z’ vs. f) ................39 圖4-6(e) 邊界條件自由，RH70%，各振動狀態下之波得圖(-Z” vs. f) ................40 圖4-7(a) 邊界條件自由，RH80%，無振動狀態下與五種振動狀態下之柯爾圖.41 圖4-7(b) 邊界條件自由，RH80%，無振動狀態下與共振頻率振動狀態下之柯爾圖..................................................................................................................................41 圖4-7(c) 邊界條件自由，RH80%，無振動狀態下與高頻振動狀態下之柯爾圖..................................................................................................................................42 圖4-7(d) 邊界條件自由，RH80%，各振動狀態下之波得圖(Z’ vs. f) ...............42 圖4-7(e) 邊界條件自由，RH80%，各振動狀態下之波得圖(-Z” vs. f) ..............43 圖4-8(a) 邊界條件自由，RH90%，無振動狀態下與五種振動狀態下之柯爾圖..................................................................................................................................44 圖4-8(b) 邊界條件自由，RH90%，無振動狀態下與共振頻率振動狀態下之柯爾圖. ................................................................................................................................44 圖4-8(c) 邊界條件自由，RH90%，無振動狀態下與高頻振動狀態下之柯爾圖..................................................................................................................................45 圖4-8(d) 邊界條件自由，RH90%，各振動狀態下之波得圖(Z’ vs. f) ...............45 圖4-8(e) 邊界條件自由，RH90%，各振動狀態下之波得圖(-Z” vs. f) ..............46 圖4-9 邊界條件固定狀態下之共振頻率................................................................47 圖4-10(a) 邊界條件固定，RH60%，無振動狀態下與五種振動狀態下之柯爾圖.48 圖4-10(b) 邊界條件固定，RH60%，無振動狀態下與共振頻率振動狀態下之柯爾圖……………………………………………………………………………………48 圖4-10(c) 邊界條件固定，RH60%，無振動狀態下與高頻振動狀態下之柯爾圖.49 圖4-10(d) 邊界條件固定，RH60%，各振動狀態下之波得圖(Z’ vs. f)…………49 圖4-10(e) 邊界條件固定，RH60%，各振動狀態下之波得圖(-Z” vs. f) ..............50 圖4-11(a) 邊界條件固定，RH70%，無振動狀態下與五種振動狀態下之柯爾圖..51 圖4-11(b) 邊界條件固定，RH70%，無振動狀態下與共振頻率振動狀態下之柯爾圖..................................................................................................................................51 圖4-11(c) 邊界條件固定，RH70%，無振動狀態下與高頻振動狀態下之柯爾圖.52 圖4-11(d) 邊界條件固定，RH70%，各振動狀態下之波得圖(Z’ vs. f) ...............52 圖4-11(e) 邊界條件固定，RH70%，各振動狀態下之波得圖(-Z” vs. f) ..............53 圖4-12(a) 邊界條件固定，RH80%，無振動狀態下與五種振動狀態下之柯爾圖.54 圖4-12(b) 邊界條件固定，RH80%，無振動狀態下與共振頻率振動狀態下之柯爾圖..................................................................................................................................54 圖4-12(c) 邊界條件固定，RH80%，無振動狀態下與高頻振動狀態下之柯爾圖.55 圖4-12(d) 邊界條件固定，RH80%，各振動狀態下之波得圖(Z’ vs. f) ..............55 圖4-12(e) 邊界條件固定，RH80%，各振動狀態下之波得圖(-Z” vs. f) ..............56 圖4-13(a) 邊界條件固定，RH90%，無振動狀態下與五種振動狀態下之柯爾圖.57 圖4-13(b) 邊界條件固定，RH90%，無振動狀態下與共振頻率振動狀態下之柯爾圖..................................................................................................................................57 圖4-13(c) 邊界條件固定，RH90%，無振動狀態下與高頻振動狀態下之柯爾圖.58 圖4-13(d) 邊界條件固定，RH90%，各振動狀態下之波得圖(Z’ vs. f)………….58 圖4-13(e) 邊界條件固定，RH90%，各振動狀態下之波得圖(-Z” vs. f) ..............59 圖4-14 擬合用之等效電路圖.............................................................................60 圖4-15 等效電路之物理模組示意圖.................................................................60 圖4-16(a) RH80%，未振動時系統之科爾圖模擬……………………………….63 圖4-16(b) RH80%，以75 kHz壓電頻率振動系統之科爾圖模擬………………64 圖4-16(c) RH80%，以190 kHz壓電頻率振動系統之科爾圖模擬……………..64 圖4-16(d) RH80%，以300 kHz壓電頻率振動系統之科爾圖模擬…………….65 圖4-16(e) RH80%，以600 kHz壓電頻率振動系統之科爾圖模擬……………..65 圖4-16(f) RH80%，以900 kHz壓電頻率振動系統之科爾圖模擬……………..66 圖4-17(a) RH90%下以75 kHz振動與RH80%不振動之柯爾圖比較…………..66 圖4-17(b) 量測頻率100 kHz~3 MHz，RH90%系統受75 kHz振動與RH80%不振動之柯爾圖比較…………………………………………………………………..67 圖4-18(a) 邊界條件自由，無振動狀態下之各頻率之阻抗與濕度變化關係圖.....72 圖4-18(b) 邊界條件自由，以75 kHz振動狀態下之各頻率之阻抗與濕度變化關係圖..............................................................................................................................73 圖4-18(c) 邊界條件自由，以175 kHz振動狀態下之各頻率之阻抗與濕度變化關係圖..............................................................................................................................73 圖4-18(d) 邊界條件自由，以300 kHz振動狀態下之各頻率之阻抗與濕度變化關係圖..............................................................................................................................74 圖4-18(e) 邊界條件自由，以600 kHz振動狀態下之各頻率之阻抗與濕度變化關係圖.............. ...............................................................................................................74 圖4-18(f) 邊界條件自由，以900 kHz振動狀態下之各頻率之阻抗與濕度變化關係圖..............................................................................................................................75 圖4-19邊界條件自由，以300 kHz振動狀態下中高頻之阻抗與濕度變化關係圖..................................................................................................................................75 圖4-20(a) 邊界條件固定，無振動狀態下之各頻率之阻抗與濕度變化關係圖…76 圖4-20(b) 邊界條件固定，以75 kHz振動狀態下之各頻率之阻抗與濕度變化關係圖..............................................................................................................................77 圖4-20(c) 邊界條件固定，以175 kHz振動狀態下之各頻率之阻抗與濕度變化關係圖.............................................................................................................................77 圖4-20(d) 邊界條件固定，以300 kHz振動狀態下之各頻率之阻抗與濕度變化關係圖..............................................................................................................................78 圖4-20(e) 邊界條件固定，以600 kHz振動狀態下之各頻率之阻抗與濕度變化關係圖..............................................................................................................................78 圖4-20(f) 邊界條件固定，以900 kHz振動狀態下之各頻率之阻抗與濕度變化關係圖..............................................................................................................................79 圖4-21(a) 完全未經過振動時RH60%~RH90%之科爾圖曲線………………….80 圖4-21(b) 受到壓電頻率75 kHz振動1 hr後，在完全靜止情況下之RH60%~RH90%之科爾圖曲線……………………………………………………..80 圖4-21(c) 受到壓電頻率75 kHz振動2 hr及2 hr以上後，在完全靜止情況下之RH60%~RH90%之科爾圖曲線……………………………………………………..81 圖 4-22(a) 完全未經過振動時RH60%~RH90%之科爾圖曲線…………………82 圖 4-22(b) 受到壓電頻率75 kHz振動1 hr後，在完全靜止情況下之RH60%~RH90%之科爾圖曲線……………………………………………………..82 圖 4-22(c) 受到壓電頻率75 kHz振動2 hr及2 hr以上後，在完全靜止情況下之RH60%~RH90%之科爾圖曲線……………………………………………………..83 表目錄表4-1 RH60%，邊界條件固定之各振動頻率阻抗擬合表………………………83 表4-2 RH70%，邊界條件固定之各振動頻率阻抗擬合表.....................................83 表4-3 RH80%，邊界條件固定之各振動頻率阻抗擬合表……………………….84 表4-4 RH90%，邊界條件固定之各振動頻率阻抗擬合表……………………….84 表4-5 (a)~(f)分別為邊界條件固定的六個振動狀態下在各濕度之表現 :(a) 無振動，(b)75 kHz，(c)190 kHz，(d)300 kHz，(e)600 kHz，(f)900 kHz………………85
dc.language.iso	zh-TW
dc.subject	溼度、感測器、陽極處理、壓電材料、共振頻率、阻抗頻譜、等效電路、恆定相元素	zh_TW
dc.subject	equivalent circuit	en
dc.subject	humidity	en
dc.subject	sensors	en
dc.subject	AAO	en
dc.subject	piezoelectric materials	en
dc.subject	resonance frequency	en
dc.title	奈米孔洞氧化鋁與壓電陶瓷之複合結構在溼度感測上之表現	zh_TW
dc.title	Humidity Seneing Behavior of A Composite Structure Consisting of nanoporous Alumina and Piezoelectric Layers	en
dc.type	Thesis
dc.date.schoolyear	98-2
dc.description.degree	碩士
dc.contributor.oralexamcommittee	林招松,郭錦龍,陳敏璋
dc.subject.keyword	溼度、感測器、陽極處理、壓電材料、共振頻率、阻抗頻譜、等效電路、恆定相元素,	zh_TW
dc.subject.keyword	humidity, sensors, AAO, piezoelectric materials, resonance frequency, equivalent circuit,	en
dc.relation.page	106
dc.rights.note	有償授權
dc.date.accepted	2010-08-19
dc.contributor.author-college	工學院	zh_TW
dc.contributor.author-dept	材料科學與工程學研究所	zh_TW
顯示於系所單位：	材料科學與工程學系

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