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| DC 欄位 | 值 | 語言 |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 洪振發(Chen-Far Hung) | |
| dc.contributor.author | Po-Chen Kuo | en |
| dc.contributor.author | 郭柏辰 | zh_TW |
| dc.date.accessioned | 2021-06-14T16:50:28Z | - |
| dc.date.available | 2013-05-14 | |
| dc.date.copyright | 2008-08-05 | |
| dc.date.issued | 2008 | |
| dc.date.submitted | 2008-07-31 | |
| dc.identifier.citation | 1. 尤克熙（2002），「主要國家產經政策動態季刊12 吋晶圓廠之進與退」，經濟部主要國家產經政策動態季刊，九十一年第四期，全90頁。
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| dc.identifier.uri | http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/40533 | - |
| dc.description.abstract | 隨著高科技產業在台灣蓬勃發展，半導體及光電顯示產業更已成為台灣重要經濟支柱。由於半導體製程的進步，導致高科技廠之製程設備對微振動控制要求更加嚴格。不過目前潔淨室裡針對振動較敏感儀器工作環境之微振設計技術仍須依賴國外顧問公司，因此透過振動量測分析對於振源與振動傳遞性能的瞭解，將有助於環境微振動的掌握，對於未來廠房在設計規劃時，也能作為相關的參考。
為了探討高科技廠房內微振動的來源與隔振狀況，本文進行現地量測，並建立一套精確、迅速、有效率的量測訊號處理系統，來分析振動量測之數據。本文以LabVIEW環境建立一套即時量測及分析系統，應用LabVIEW系統的圖示指令，建立圖形化使用者介面，增加量測與分析時的操作簡便性，可將量測數據進行快速傅立葉轉換、短時傅立葉轉換、功率頻譜密度及三分之ㄧ倍頻頻譜，以時頻譜等轉換作為試驗量測結果進行不同方式判斷振動訊號所蘊含之動態特性準則，包括振動發生之頻率與振動量。 本研究針對馬力較大、振動量較高之動力幫浦及其冷卻水輸送管線進行振動量測及分析，期能了解廠房設備運轉引致管線振動及振動傳遞之特性，以利將來後續建廠實務之參考評估。 | zh_TW |
| dc.description.abstract | As the high-technology industry develops vigorously in Taiwan, the industries of semiconductor and optoelectronic have become the important economic foundations in Taiwan. Owing to the progress of the manufacturing technology of semiconductor, control of the micro vibration for the manufacturing equipment in high-technology factories is strictly demanded. However, the design of ambient vibration mitigation for the vibration sensitive instruments is still dependent on the foreign consultancy at present. Therefore, it is helpful to understand the ambient vibration induced by facilities by the field measurement and analysis. Furthermore, it can provide useful reference when the Fabs are designed and planned in future.
To study the vibration transmission of high power source in the high-technology Fabs, the field measurement was carried out. Furthermore, a set of precise, quick, and effective measurement system has been set up measure and analyze the vibration data. In this study, a set of real-time measurement and analysis system has been established under LabVIEW environment, a graphical user interface (GUI) was established for the operational convenience during measurement and analysis. Furthermore, the Fast Fourier Transformation (FFT), Short Time Fourier Transformation (STFT), power spectrum density (PSD), one-third octave band spectrum and the time-frequency spectrum for the measured data were built for the evaluation the dynamic characteristics contained in the vibration system. The vibration measurement and analysis are carried out for the power pumps with higher vibration magnitude, as well as their cooling-water feeding pipeline. It is expected to understand the characteristics of the pipeline vibration resulted from the micro-scale vibration of the factory building and the equipment operation, thus it is helpful to the reference estimation of the factory construction in future. | en |
| dc.description.provenance | Made available in DSpace on 2021-06-14T16:50:28Z (GMT). No. of bitstreams: 1 ntu-97-R95525009-1.pdf: 14844424 bytes, checksum: fc1af54b94aec8f242c7c3e05197c7ce (MD5) Previous issue date: 2008 | en |
| dc.description.tableofcontents | 摘要 I
ABSTRACT II 目錄 III 表目錄 VIII 圖目錄 X 附錄目錄 XVII 第一章 緒論 1 1.1 研究背景 1 1.2 研究動機 2 1.3 研究對象 3 1.4 文獻回顧 4 1.5 本文工作重點 6 第二章 振動量測之理論背景 9 2.1 基本波傳理論 9 2.1.1 實體波 9 2.1.2 表面波 10 2.2 幫浦運轉引致管線之振動 12 2.2.1 水錘效應 12 2.3 傅立葉轉換（Fourier Transform） 13 2.3.1 傅立葉轉換原理 13 2.3.2 快速傅立葉轉換（Fast Fourier Transform, FFT） 14 2.3.3 取樣定理 17 2.3.4 取樣時距 17 2.3.5 總取樣時間 18 2.4 短時傅立葉轉換（Short Time Fourier Transform, STFT） 19 2.4.1 短時傅立葉轉換原理 20 2.4.2 取窗函數之特性 21 2.4.3 短時傅立葉轉換之特性 23 2.4.4 短時傅立葉轉換之限制 24 2.5 功率頻譜密度（Power Spectral Density, PSD） 24 2.5.1 平方平均數 25 2.6 頻譜表示 26 2.6.1 倍頻頻譜（Octave Band） 26 2.6.2 三分之一倍頻頻譜（One-third Octave Band） 26 2.7 環境振動頻譜之分析 28 2.8 振動相關規範 29 2.8.1 結構規範 30 2.8.2 人體生理規範 32 2.8.3 機具及生產製程規範 34 第三章 環境振動量測系統 37 3.1 量測系統思維 37 3.2 量測系統介紹 38 3.2.1 振動量測結果之分析流程 40 3.3 硬體規格介紹 41 3.3.1 速度規－MST 1031 42 3.3.2 加速度規－WR 731A 43 3.3.3 加速度規－PCB 356B18 44 3.3.4 集錄器－NI cDAQ-9172 45 3.3.5 集錄卡－NI 9215 46 3.3.6 集錄卡－NI 9233 47 3.4 LabVIEW程式使用環境 48 3.5 LabVIEW程式使用者介面功能介紹 48 3.5.1 集錄系統控制介面 50 3.5.2 檔案處理及分析介面 53 3.5.3 簡易時域資料庫介面 57 第四章 量測結果與分析 59 4.1 分析案例 59 4.1.1 一樓振源設備介紹 59 4.1.1.1 一樓PCW設備運轉引致管線振動 59 4.1.2 頂樓振源設備介紹 60 4.1.2.1 頂樓設備運轉引致延伸測線振動 60 4.2 廠房內管線振動量測工作 61 4.2.1 一樓設備運轉試驗規劃與配置 62 4.2.2 頂樓設備運轉試驗規劃與配置 67 4.2.3 分析方法 71 4.3 一樓設備運轉振動量測 71 4.3.1 PCW設備運轉動力幫浦測點之時域資料 71 4.3.1.1 PCW設備單機運轉動力幫浦測點之時域資料 72 4.3.1.2 PCW設備多機運轉動力幫浦測點之時域資料 75 4.3.2 PCW設備運轉動力幫浦測點之振動反應 79 4.3.2.1 PCW設備單機運轉動力幫浦測點之振動反應 79 4.3.2.2 PCW設備多機運轉動力幫浦測點之振動反應 80 4.3.2.3 PCW設備背景值動力幫浦測點之振動反應 82 4.3.3 PCW設備運轉各測點振動背景值快速傅立葉轉換分析結果 83 4.3.3.1 PCW設備單機運轉各測點振動背景值快速傅立葉轉換分析結果 83 4.3.3.2 PCW設備多機運轉各測點振動背景值快速傅立葉轉換分析結果 85 4.3.4 PCW設備運轉振源與結構自然振動頻率識別 87 4.3.4.1 利用功率頻譜密度分析自然振動之衰減情形識別振動頻率 87 4.3.4.2 利用短時傅立葉轉換分析自然振動之衰減情形識別振動頻率 90 4.3.4.3 利用PCW設備運轉於特定動次識別振動頻率 92 4.3.5 PCW設備運轉之振動量測討論 94 4.4 一樓設備運轉引致管線振動量測 95 4.4.1 PCW設備運轉引致管線振動之時域資料 95 4.4.1.1 PCW設備單機運轉引致管線振動之時域資料 95 4.4.1.2 PCW設備多機運轉引致管線振動之時域資料 97 4.4.2 PCW設備運轉引致管線振動之振動反應 100 4.4.2.1 PCW設備單機運轉引致管線振動之振動反應 100 4.4.2.2 PCW設備多機運轉引致管線振動之振動反應 101 4.4.3 PCW設備運轉引致管線振動之快速傅立葉轉換分析結果 103 4.4.3.1 PCW設備單機運轉引致管線振動之快速傅立葉轉換分析結果 103 4.4.3.2 PCW設備多機運轉引致管線振動之快速傅立葉轉換分析結果 105 4.4.4 PCW設備運轉振源與結構自然振動頻率識別 108 4.4.4.1 利用功率頻譜密度分析自然振動之衰減情形識別振動頻率 108 4.4.4.2 利用短時傅立葉轉換分析自然振動之衰減情形識別振動頻率 113 4.4.4.3 利用PCW設備運轉於特定動次識別振動頻率 118 4.4.5 一樓設備運轉引致管線振動之量測討論 123 4.5 頂樓設備運轉振動量測 124 4.5.1 頂樓設備運轉之振動量測時域資料 124 4.5.1.1 GEX-EF-10設備運轉各測點之振動量測時域資料 124 4.5.1.2 SEX-SCR-11設備運轉各測點之振動量測時域資料 130 4.5.2 頂樓設備運轉各測點之振動反應 136 4.5.2.1 GEX-EF-10設備運轉各測點之振動反應 136 4.5.2.2 SEX-SCR-11設備運轉各測點之振動反應 138 4.5.3 頂樓設備運轉各測點快速傅立葉轉換分析結果 140 4.5.3.1 GEX-EF-10設備運轉各測點快速傅立葉轉換分析結果 140 4.5.3.2 SEX-SCR-11設備運轉各測點快速傅立葉轉換分析結果 142 4.5.4 頂樓設備運轉對延伸測線快速傅立葉轉換分析結果 144 4.5.4.1 GEX-EF-10設備運轉對延伸測線快速傅立葉轉換分析結果 144 4.5.4.2 SEX-SCR-11設備運轉對延伸測線快速傅立葉轉換分析結果 148 4.5.5 頂樓設備運轉各測點三分之ㄧ倍頻頻譜分析結果 150 4.5.5.1 GEX-EF-10設備運轉各測點三分之ㄧ倍頻頻譜分析結果 150 4.5.5.2 SEX-SCR-11設備運轉各測點三分之ㄧ倍頻頻譜分析結果 152 4.5.6 頂樓設備運轉對延伸測線三分之ㄧ倍頻頻譜分析結果 154 4.5.6.1 GEX-EF-10設備運轉對延伸測線三分之ㄧ倍頻頻譜分析結果 154 4.5.6.2 SEX-SCR-11設備運轉對延伸測線三分之ㄧ倍頻頻譜分析結果 158 4.5.7 頂樓設備運轉之振動量測討論 160 第五章 結論與建議 161 5.1 結論 161 5.2 建議 162 5.3 未來展望 163 參考文獻 164 附錄 168 | |
| dc.language.iso | zh-TW | |
| dc.subject | 振動傳遞 | zh_TW |
| dc.subject | 高科技廠房 | zh_TW |
| dc.subject | 微振動 | zh_TW |
| dc.subject | 設備振動 | zh_TW |
| dc.subject | 量測系統 | zh_TW |
| dc.subject | micro vibration | en |
| dc.subject | high-tech fab | en |
| dc.subject | vibration transmission | en |
| dc.subject | measurement system | en |
| dc.subject | facilities vibration | en |
| dc.title | 高科技廠房之設備及管線振動量測系統 | zh_TW |
| dc.title | The Vibration Measurement System for Facilities & Pipelines of High-Tech Fabs | en |
| dc.type | Thesis | |
| dc.date.schoolyear | 96-2 | |
| dc.description.degree | 碩士 | |
| dc.contributor.oralexamcommittee | 陳永祥(Yung-Hsiang Chen),陳錦村(Chin-Tsun Chen),許榮均(Jung-Chun Hsu) | |
| dc.subject.keyword | 高科技廠房,微振動,設備振動,量測系統,振動傳遞, | zh_TW |
| dc.subject.keyword | high-tech fab,micro vibration,facilities vibration,measurement system,vibration transmission, | en |
| dc.relation.page | 166 | |
| dc.rights.note | 有償授權 | |
| dc.date.accepted | 2008-07-31 | |
| dc.contributor.author-college | 工學院 | zh_TW |
| dc.contributor.author-dept | 工程科學及海洋工程學研究所 | zh_TW |
| 顯示於系所單位： | 工程科學及海洋工程學系 | |
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