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機械工程學系
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2019
陽極氧化鋁與蝕刻微影結合自動化氣輔紫外光固化製作奈米結構及其應用
Anodic aluminum oxide and nanosphere lithography combined with automated gas-assisted UV curing to replicate nanostructures with applications
Hsing-Wei Huang; 黃星維
機械工程學研究所
探索
系所
1
機械工程學研究所
學位
1
碩士
作者
1
黃星維
關鍵字
1
aao
1
aao,nanosphere lithography
1
aao,nanosphere lithography,uv curing
1
aao,nanosphere lithography,uv cur...
1
aao,nanosphere lithography,uv cur...
1
陽極氧化鋁
1
陽極氧化鋁,奈米球微影
1
陽極氧化鋁,奈米球微影,反應離子蝕刻
1
陽極氧化鋁,奈米球微影,反應離子蝕刻,紫外光固化
1
陽極氧化鋁,奈米球微影,反應離子蝕刻,紫外光固化,氣體輔助
.
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出版年
1
2019
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true