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機械工程學系
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2020
精密晶圓檢測平台的高度穩定軌跡與速度控制
Highly Steady Trajectory and Speed Control of an Ultra-Precision Wafer Inspection Stage
Syuan-You Jhu; 朱軒佑
機械工程學研究所
探索
系所
1
機械工程學研究所
學位
1
碩士
作者
1
syuan-you jhu
關鍵字
1
linear motor
1
linear motor,air-bearing stage
1
linear motor,air-bearing stage,h-...
1
linear motor,air-bearing stage,h-...
1
linear motor,air-bearing stage,h-...
1
線性馬達
1
線性馬達,氣浮平台
1
線性馬達,氣浮平台,h無窮
1
線性馬達,氣浮平台,h無窮,強韌控制
1
線性馬達,氣浮平台,h無窮,強韌控制,粒子群最佳化
.
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出版年
1
2020
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1
未授權
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true