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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
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2012 | 用於直寫式極紫外光微影系統之高頻高反射率快門建置 Construction of a High Frequency and High Reflectance Shutter for Direct Write EUV Lithography System | Meng-Hsun Lin; 林孟勳 | 機械工程學研究所 |
2012 | 利用矽光電二極體感測電子束微影系統電子束位置及漂移現象 Electron Beam Position and Drift Detection through Silicon Photodiodes in Electron Beam Lithography System | Yi-Hung Kuo; 郭逸宏 | 機械工程學研究所 |