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機械工程學系
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2008
用於製造大面積次微米週期性干涉條紋之伺服系統設計與分析
Servo System Design and Analysis for Fabricating Large Area Sub-Micron-Period Interference Gratings
Lien-Sheng Chen; 陳聯聖
機械工程學研究所
探索
系所
1
機械工程學研究所
學位
1
碩士
作者
1
陳聯聖
關鍵字
1
interference lithography
1
interference lithography,interfer...
1
interference lithography,interfer...
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interference lithography,interfer...
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interference lithography,interfer...
1
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1
干涉微影術
1
干涉微影術,干涉條紋接合
1
干涉微影術,干涉條紋接合,光源操控
1
干涉微影術,干涉條紋接合,光源操控,晶圓定位
.
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出版年
1
2008
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1
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1
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