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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2009 | 奈米週期性干涉條紋的接合技術 Stitching Technology for Nanometer Periodic Interference Gratings | Cheng-Hung Chen; 陳正宏 | 機械工程學研究所 |
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系所
- 1 機械工程學研究所
學位
- 1 博士
關鍵字
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- 1 步進對位干涉微影
- 1 步進對位干涉微影,週期性奈米結構
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- 1 步進對位干涉微影,週期性奈米結構,複合式控制架構,雙致動器平台
- 1 步進對位干涉微影,週期性奈米結構,複合式控制架構,雙致動器平台,大面積
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出版年
- 1 2009
全文授權
- 1 有償授權
全文
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