Skip navigation

DSpace

機構典藏 DSpace 系統致力於保存各式數位資料(如:文字、圖片、PDF)並使其易於取用。

點此認識 DSpace
DSpace logo
English
中文
  • 瀏覽論文
    • 校院系所
    • 出版年
    • 作者
    • 標題
    • 關鍵字
    • 指導教授
  • 搜尋 TDR
  • 授權 Q&A
    • 我的頁面
    • 接受 E-mail 通知
    • 編輯個人資料
  1. NTU Theses and Dissertations Repository
  2. 工學院
  3. 化學工程學系
請用此 Handle URI 來引用此文件: http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/35789
完整後設資料紀錄
DC 欄位值語言
dc.contributor.advisor陳立仁
dc.contributor.authorGuo-Lung Luoen
dc.contributor.author羅國隆zh_TW
dc.date.accessioned2021-06-13T07:10:13Z-
dc.date.available2005-07-30
dc.date.copyright2005-07-30
dc.date.issued2005
dc.date.submitted2005-07-26
dc.identifier.citation1. http:www.toppoly.com
2.松本正一,角田市良合著,劉瑞祥譯,液晶之基礎與應用,國立編譯館, 2000.
3. Xia, Y.; Whitesides, G. M., Angew. Chem. Int. Ed., 37, 550, 1998.
4. Huang, Z.; Wang, P. C.; MacDiarmid, A. G.; Xia, Y.; Whitesides, G.M., Langmuir, 113, 6480, 1997.
5. Hidber, P.W.; Helbig, E.; Whitesides, G. M., US Patent No. 6,060,121, 2000.
6. Murarka, S. P.; Gutmann, R. J.; Kaloyeros, A. E.; Lanford, W.A., Thin Solid Films, 236, 257, 1993.
7. 尤志州,碩士學位論文,半導體製程之無電極鍍銅成長晶種層特性研究,國立台灣大學化學工程研究所。
8. Pompe, T.; Herminghaus, S., Langmuir, 15, 2398, 1999.
9. Geissler, M.; Bernard, A.; Bietsch, A.; Schmid, H.; Michel, B.; Delamarche, E. J., Am. Chem.Soc., 122, 6303, 2000.
10. Xia, Y.; Whitesides, G. M., Langmuir, 13, 2059, 1995.
11. Delamarche, E.; Michel, B.; Biebuyck, H. A.; Gerber, C., Adv. Mater,, 8, 719, 1996.
12. Ulman, A., Chem. Rev., 96, 1533, 1996.
13. Ulman, A., “An Introduction to Ultrathin Organic Films”, Academic Press, San Diego, 1991.
14. Libioulle, L.; Bietsch, A.; Schmid, H., Langmuir, 15, 300, 1999.
15. Koura, N., chapter17 in “Electroless plating: fundamentals and applications”, Mallory, G. O.; Hajdu, J. B. editors, American Electroplaters and Surface Finishers Society, Orlando, 1990.
16. Rieger, P. H., Electrochemistry, Chapman & Hall, New York, 1993.
17. Dubin, V. M.; Shacham-Diamand, Y., J.Electrochem. Soc., 144, 898, 1997.
18. Murarka, S. P.; Gutmann, R. J.; Kaloyeros, A. E.; Lanford, W.A., Thin Solid Films 236, 257, 1993.
19. Straus, M., US Patent No. 5,387,332, 2000.
20. 謝重仁,碩士學位論文,鈀金屬奈米粒子應用於印刷電路板無電鍍金屬層,國立清華大學化學工程研究所
21. Schnur, J. M.; Schoen, P. E.; Peckerar, M. C.; Marrian, C. R. K.; Calvert, J. M.; Georger, Jr.; Jacque, H., US Patent No. 5,079,600, 1992.
22. Andry, P. S.; Flake, J. C.; Michel, B.; Tsujimura, T., US Patent No. 6,767,828, 2003.
23. Das, B.; Swisher, R. G., US Patent No. 5,264,288, 1992.
24. Weber, L.; Brinz, T.; Eisele, U.; Kling, D., US Patent No. 6,274,241, 2001.
25.莊達人,錫鈀膠體(Ⅱ),電路板資訊,第十七期,P46.,1989.
26. Shacham - Diamand, Y.; Dubin, V. M., Microelectronic Engineering 33, 47, 1997.
27. Dubin, V. M.; Shacham-Diamand, Y.; Ting, C. H.; Zhao, B.; Vasudev, P. K., US Patent No. 5,891,513, 1999.
28. H. T. Ng; S. F. Y. Li; L. Chan; F. C. Loh; K. L. Tan, J.Electrochem.Soc.,145, 3301, 1998.
29. Dubin, V. M.; Shacham-Diamand, Y.; Angyal, M., Thin Solid Film, 262, 93, 1995.
30. 洪愛娜,化學鍍銅簡介,電路板會刊第十期,2000.
31. Charles, Q.; Buckwalter, Jr., US Patent No. 4,285,992, 1981.
32. Bahls, H., US Patent No. 3,983,266, 1976.
33. Sivertz, C.; Soltys, J. F., US Patent No. 3,776,740, 1976.
34. Aonuma, H., US Patent No. 6,398,854, 2002.
35. Endo, M.; Kawaguchi, A.; Nishio, M.; Hashimoto, S., US Patent No. 5,645,628, 1997.
36. Laroche, P.; Boulanger, P.; Dauby, C., US Patent No. 6749307, 2004.
37. Joshi, N.H., US Patent No. 6645557, 2003.
38. Liu, Z. C.; He, Q. G.; Xiao, P. F.; Lu, Z. H., Materials Chemistry and Physics, 82, 301, 2003.
39. Hao T.; Li Z., Electrochimica Acta 48, 2473, 2003.
40. Xia, Y., Langmuir, 14, 363, 1998.
41. Khang, D.Y.; Lee, H. H., Langmuir, 20, 2445, 2003.
42. Marzolin, C.; Smith, S. P.; Prentiss, M.; Whitesides, G. M., Adv. Mater., 10, 571, 1998.
43. Wasserman, S. R.; Whitesides, G. M.; Tidswell, I. M.; Ocko, B. M.; Pershan, P. S.; Axe, J. D., J. Am. Chem. Soc., 111, 5852, 1989.
44. Shipley, C. R., US Patent No. 3,011,920, 1961.
45. Shipley, C. R.; Gulla, M., US Patent No. 3,562,038, 1971.
46. Delamarche, E.; Donzel, C.; Kamounah, F. S.; Wolf, H.; Geissler, M.; Stutz, R.; Schmidt-Winkel, P.; Michel, B.; Schaumburg, K., Langmuir, 19, 8749, 2003.
dc.identifier.urihttp://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/35789-
dc.description.abstract摘要
在印刷電路板產業中,使用化學電鍍沈積法進行銅導線製備,已廣泛被採用。本研究計畫擬在玻璃基材上運用微觸印刷技術製備化學鍍沈積法所需之種晶層,再進行化學鍍沈積法在玻璃基板上獲得微米級的金屬圖案,目前已可成功的使用化學電鍍沈積法製作線寬2微米的銅圖案和線寬0.8微米的銀圖案。未來希望能改善電鍍液和金屬鍍層的品質並進一步的縮小金屬導線的線寬。此外我們使用壓印與溶膠凝膠法製作可控制粗糙度的玻璃表面以探討粗糙度對化學電鍍銅層黏著性的影響。
zh_TW
dc.description.abstractABSTRACT
Autocatalytic electroless copper plating is widely applied in the printed circuit board industry. In this study, the micro-contact printing technique is applied to directly fabricate the seeding layer for electroless deposition on glass substrate. Now, we can successfully fabricate copper pattern with feature size 10µm lines and separated by 10µm on glass substrate by micro - contact printing, and silver pattern with feature size 0.8µm lines and separated by 0.8µm on glass substrate. We also use the methods of soft embossing and sol-gel to fabricate glass substrate with specific roughness which could be controlled and discuss the relations between roughness of glass substrate and the adhesion of copper layer.
en
dc.description.provenanceMade available in DSpace on 2021-06-13T07:10:13Z (GMT). No. of bitstreams: 1
ntu-94-R92524021-1.pdf: 5447352 bytes, checksum: 8e927d495543460c0f05a9789fd06472 (MD5)
Previous issue date: 2005
en
dc.description.tableofcontents目錄
中文摘要………………………………………………………… I
英文摘要………………………………………………………II
目錄……………………………………………………………… III
表目錄………………………………………………………… ……….V
圖目錄…………………………………………………………………VII
第一章 緒論…………………………………………………………….1
第二章 文獻回顧.………………………………………………………6
1.微觸印刷………………………………………………………….. .6
2.化學鍍沈積法……………………………………………………….12
3.使用微觸印刷與化學鍍製作金屬圖案…………………………...19
4.使用溶膠凝膠法(sol-gel)製作具有粗糙度的表面……………..20
第三章 實驗部分……………………………………………………..35
1.藥品器材…………………………………………………………….35
2.實驗設備…………………………………………………………….36
3.實驗步驟…………………………………………………………….38
4.表面分析技術……………………………………………………….49
第四章 結果與討論……………………………………………………57
化學鍍銅……………………………………………………………...57
基材表面粗糙度對化學鍍銅層的黏著性影響……………………...63
化學鍍銀……………………………………………………………...64
第五章 結論與未來工作…………………………………………….101
參考文獻……………………………………………………………..105
dc.language.isozh-TW
dc.subject微觸印刷zh_TW
dc.subject化學鍍zh_TW
dc.subject種晶層zh_TW
dc.subject壓印zh_TW
dc.subject溶膠凝膠法zh_TW
dc.subjectsol- gelen
dc.subjectmicrocontact printingen
dc.subjectelectroless depositionen
dc.subjectseeding layeren
dc.subjectmasking layeren
dc.subjectmoldingen
dc.title使用化學鍍與微觸印刷法製作微米級金屬圖案zh_TW
dc.titleApplication of Microcontact Printing to the Electroless Plating for the Fabrication of Microscale Metal Patternsen
dc.typeThesis
dc.date.schoolyear93-2
dc.description.degree碩士
dc.contributor.oralexamcommittee顏溪成,黃炳照,尹庚鳴
dc.subject.keyword化學鍍,微觸印刷,種晶層,壓印,溶膠凝膠法,zh_TW
dc.subject.keywordmicrocontact printing,electroless deposition,seeding layer,masking layer,molding,,sol- gel,en
dc.relation.page108
dc.rights.note有償授權
dc.date.accepted2005-07-27
dc.contributor.author-college工學院zh_TW
dc.contributor.author-dept化學工程學研究所zh_TW
顯示於系所單位:化學工程學系

文件中的檔案:
檔案 大小格式 
ntu-94-1.pdf
  未授權公開取用
5.32 MBAdobe PDF
顯示文件簡單紀錄


系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。

社群連結
聯絡資訊
10617臺北市大安區羅斯福路四段1號
No.1 Sec.4, Roosevelt Rd., Taipei, Taiwan, R.O.C. 106
Tel: (02)33662353
Email: ntuetds@ntu.edu.tw
意見箱
相關連結
館藏目錄
國內圖書館整合查詢 MetaCat
臺大學術典藏 NTU Scholars
臺大圖書館數位典藏館
本站聲明
© NTU Library All Rights Reserved