奈米碳管應變感測器之設計與研究

Abstract

自從奈米科技成為21世紀世界各國重點發展的部份之一，奈米材料的發現尤其是奈米碳管，成為近十多年來學界致力研究的對象，它提供了一個新的方向，去解決目前所遇到而難以解決的問題。本論文即利用奈米碳管的特性藉由ANSYS○R來設計模擬結構，同時藉模擬的結果來看設計的奈米碳管應變感測器參數在一定的力量下，可得到的應變量大小，來推算奈米碳管在受力後可能的伸長量。接著利用微機電製程技術來實現設計的結構。 最後利用儀器來量測，施予不同力、不同位移、不同電壓下的系統不同的特性表現，最後推算系統的應變規因子（Gauge Factor, G.F.）。