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材料科學與工程學系
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2009
利用原子層沉積技術成長p型氧化鋅之研究
Study of p-type ZnO Deposited by Atomic Layer Deposition
Yun-Hsiu Li; 李昀修
材料科學與工程學研究所
探索
系所
1
材料科學與工程學研究所
學位
1
碩士
指導教授
1
陳敏璋
作者
1
yun-hsiu li
1
李昀修
關鍵字
1
atomic layer deposition,zno
1
atomic layer deposition,zno,therm...
1
atomic layer deposition,zno,therm...
1
原子層沉積技術
1
原子層沉積技術,氧化鋅,熱擴散
1
原子層沉積技術,氧化鋅,熱擴散,離子佈植
1
原子層沉積技術,氧化鋅,熱擴散,離子佈植,p型
出版年
1
2009
全文授權
1
有償授權
全文
1
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