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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2009 | 利用原子層沉積系統於不同基材上製備氧化鋅薄膜之微結構分析 Nanostructure Analysis of ALD-ZnO Thin Films Grown on Various Substrates | Yuh-Harn Tzeng; 曾鈺涵 | 材料科學與工程學研究所 |
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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
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2009 | 利用原子層沉積系統於不同基材上製備氧化鋅薄膜之微結構分析 Nanostructure Analysis of ALD-ZnO Thin Films Grown on Various Substrates | Yuh-Harn Tzeng; 曾鈺涵 | 材料科學與工程學研究所 |