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材料科學與工程學系
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2007
利用快速熱退火與雷射引致退火製作矽化鎳及其在光偵測器上的應用
Study of the Nickel Silicide Formation by Utilizing Rapid Thermal Annealing and Laser Induced Annealing Processes and its Application to the Photo Detector
Cheng-Yu Lee; 李承諭
材料科學與工程學研究所
探索
系所
1
材料科學與工程學研究所
學位
1
碩士
作者
1
李承諭
關鍵字
1
nisi
1
nisi,silicide
1
nisi,silicide,photo detector
1
nisi,silicide,photo detector,rta
1
nisi,silicide,photo detector,rta,...
1
nisi,silicide,photo detector,rta,...
1
矽化鎳
1
矽化鎳,光偵測器
1
矽化鎳,光偵測器,抗反射層
1
矽化鎳,光偵測器,抗反射層,快速熱退火
.
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出版年
1
2007
全文授權
1
有償授權
全文
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