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http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/34720
標題: | 雷射微細加工之研究 |
作者: | Shu-Bin Hong 洪書彬 |
指導教授: | 楊宏智 |
關鍵字: | 雷射加工,導光板,凹版印刷, Laser micro-machining,Light guide plate,Intaglio printing, |
出版年 : | 2006 |
學位: | 碩士 |
摘要: | 二十一世紀初,高速、超精密與微細化已成為產業製造技術的必備要素,各種微結構與微元件紛紛被開發出來,半導體製程利用多次蝕刻和犧牲層的方式可以製造出二次元與三次元的元件,但是對於一些微小且特殊的結構,以現今的蝕刻技術往往需要多次重複曝光,因此相當耗費成本,也相對增加加工時間。
本論文以雷射微加工為主要研究標的,研究方向是在探討其工業應用性,並藉由誤差分析來取得較佳參數組合及建立相關圖表,為將來更複雜形狀的加工建立穩固的基礎。進行的步驟首先要加工出直徑範圍在10~30 μm區間的圓形凹洞,以及面積為100 μm X 100 μm的3D斜坡凹槽。前者著眼應用於LCD面板內部背光模組裡的導光板之製作,而後者則是要應用於凹版印刷的母版雕刻。 關鍵字:雷射加工、導光板、凹版印刷 In the beginning of 21st century, various kinds of micro-structures and micro-components have been developed out one after another. By means of lithography, 2D and 3D micro-machining parts can be produced. However, for some small and special structures, it is still complex and time- consuming in fabrication. Laser micro-machining and its applications are the main objectives of this thesis. By error analysis, the relationships between parameters and results of Laser machining are also established in this thesis. These revalant charts will set up the firm foundation for more complicated laser micro-machining process in the future. In this thesis, the first step is to machine a round hole (its diameter ranges from 10 μm to 30 μm), which applies to the manufacturing of light guide plate within LCD panel, and a sloped groove (its area is 100 μm X 100 μm), which applies to intaglio printing. Keywords:Laser micro-machining、Light guide plate、Intaglio printing |
URI: | http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/34720 |
全文授權: | 有償授權 |
顯示於系所單位: | 機械工程學系 |
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