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應用力學研究所
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2011
以中空微管製作次波長圓環孔徑結構於曝光微影系統之模擬與研究驗證
Experimental and Simulation Studies of Using Hollow Micro-tube to Make the Sub-wavelength Annular Aperture Structure for Optical Lithography Exposure System
Yu-Hsun Lee; 李侑勳
應用力學研究所
探索
系所
1
應用力學研究所
學位
1
碩士
作者
1
yu-hsun lee
1
李侑勳
關鍵字
1
bessel beam
1
bessel beam,hollow tube,micro-ann...
1
bessel beam,hollow tube,micro-ann...
1
bessel beam,hollow tube,micro-ann...
1
貝索光束
1
貝索光束,中空微管
1
貝索光束,中空微管,圓環結構
1
貝索光束,中空微管,圓環結構,次波長聚焦
1
貝索光束,中空微管,圓環結構,次波長聚焦,顯影技術
出版年
1
2011
全文授權
1
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