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2005
液滴在不同清洗條件基板上之蒸發行為探討
A Study of Droplet Evaporation on Substrates by Different Cleaning Methods
Chih-Po Kao; 高智柏
應用力學研究所
探索
系所
1
應用力學研究所
學位
1
碩士
作者
1
高智柏
關鍵字
1
droplet evaporation
1
droplet evaporation,substrate cle...
1
droplet evaporation,substrate cle...
1
droplet evaporation,substrate cle...
1
液滴蒸發
1
液滴蒸發,基板清洗
1
液滴蒸發,基板清洗,粒子濃度
1
液滴蒸發,基板清洗,粒子濃度,環境壓力
出版年
1
2005
全文授權
1
有償授權
全文
1
true