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2013
散射式極紫外光光罩檢測系統設計及高解析度與高場強之極紫外光波帶片設計
Design of Extreme Ultraviolet Mask Inspection System by Configuring the Scattering Signals and Design of High Resolution and Large Field Intensity Modified Zone Plates
Cheng-Han Tsai; 蔡承翰
工程科學及海洋工程學研究所
探索
系所
1
工程科學及海洋工程學研究所
學位
1
碩士
指導教授
1
李佳翰(jia-han li)
關鍵字
1
extreme ultraviolet lithography
1
extreme ultraviolet lithography,c...
1
extreme ultraviolet lithography,c...
1
極紫外光微影
出版年
1
2013
全文授權
1
有償授權