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http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/31697
標題: | 利用原子層沉積技術成長氧化鋁-應用於矽發光二極體之研究 Study of Silicon Light-Emitting Diodes with Al2O3 thin films grown by Atomic Layer Deposition |
作者: | Ying-Tsang Shih 施穎蒼 |
指導教授: | 陳敏璋(Miin-Jang Chen) |
關鍵字: | 原子層沉積技術,矽發光二極體, atomic layer deposition,silicon light emitting diode, |
出版年 : | 2006 |
學位: | 碩士 |
摘要: | 直接使用矽半導體製作出高效率之發光二極體,一直是重要地位的研究課題,本論文研究金屬-氧化層-矽半導體(MOS)發光二極體之發光特性。我們利用新穎的薄膜成長技術-原子層沉積技術(Atomic Layer Deposition,ALD)-來成長氧化鋁薄膜,由於ALD技術具有低材料成長溫度、厚度控制精準、薄膜缺陷密度低、無孔洞結構、介面品質良好等優點,因此所成長的高品質氧化層,可以提供優良的表面鈍化效果,藉此抑制元件中的非放光性複合
(nonradiative recombination)能階的密度,矽發光二極體的發光效率可以因此而提升。我們首先研究材料成長溫度對氧化鋁薄膜與矽半導體之介面的影響,得到最佳的氧化鋁成長溫度為100°C,接著使用三甲基鋁(trimethylaluminum)在不同的溫度下,對矽半導體表面做預處理,藉此得到更好的矽半導體與氧化鋁之介面品質。最後在最佳的氧化鋁成長溫度下,我們研究不同厚度的氧化鋁薄膜對發光效率的影響,得到最佳的氧化鋁薄膜厚度為5nm,藉由量測PL (Photoluminescence)頻譜隨溫度變化的情形,我們發現利用ALD成長之氧化鋁薄膜與矽半導體介面之間,具有bound exciton traps,此機制有效抑制非放光性能階的活化能(activation energy),藉此可以提高MOS發光二極體的外部量子效率。在室溫時利用ALD成長氧化鋁薄膜之MOS元件,其最佳之外部量子效率(external quantum efficiency)可以達到 ,遠超過使用相同基材成長相同厚度之熱氧化層之MOS發光二極體的發光效率。 |
URI: | http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/31697 |
全文授權: | 有償授權 |
顯示於系所單位: | 材料科學與工程學系 |
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