壓電驅動無閥門微幫浦固液耦合之模態分析

Abstract

本文利用CFDRC商業軟體作為數值分析的工具，以不對稱擋體作為流體導向的無閥門微幫浦流量分析，除了實驗數據做比對之外，另外針對不同流體的做分析。此種方法與過去不同的地方在於數值模擬沒有經過簡化，直接考慮固液耦合的現象。在給定固定電壓40伏特，藉由改變不同頻率尋找最大流量最佳化。從數值計算結果可以得知，工作流體為水的時候，type I的最大流量為10.11 ，與實驗比對後的誤差約為9.06%，type II的最大流量為157.56 ，與實驗比對後的誤差約為1.1%。影響流量最大的因素不外乎是擋體尺寸與中間腔室體積變化兩個因素。觀察工作頻率在10K赫茲以下，發現薄膜變形的影響十分微小，應該是薄膜變形的曲率速度所造成的影響，若工作頻率在10K赫茲以上，振動薄膜會出現第二模態的型式，而且在第一模態轉變成第二模態期間，薄膜的變形模態會出現一段緩衝期，雖然變形還是呈現第一模態的型式，卻出現不對稱但是連續變形的型式，也就是中心最大振幅的位置會漂移，薄膜相位也會出現延遲的現象。

We use the CFDRC software to do the research about the valveless micropump which is driven by piezoelectrical materials and utilizes asymmetric obstacles to control the flow direction. For a micropump, it is crucial to find the optimal working frequency. When the working frequency is under 10K, swirls will arise nearby the obstacles. The phenomenon will lead the flow approach the wall and also affect the net flow about the swirl’s size. At high working frequency, the fluid-solid membrane may come out a peculiar mode, which is different from the first mode and the second mode. Besides, there might be a buffer zone while the two modes change, and it will cause the center of fluid-solid membrane drifting. Meanwhile, the result shows that a phase shift lagging when the excitation force exists in the vibration response.