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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
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2013 | 以不同濃度的結構導向試劑TPAOH製備多孔型低介電薄膜 Preparation of Porous Silica Low-k Films by Using Different Concentration of Structure Directing Agent TPAOH | Chiung-Yun Chang; 張瓊云 | 化學工程學研究所 |