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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
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2014 | 銅的腐蝕研究與過硫酸銨研磨液對銅/釕化學機械研磨之效應 The Study of Copper Corrosion and Effects of Ammonium Persulfate-Based Slurry on Cu/Ru Chemical Mechanical Polishing | Yi-Ting Wu; 吳怡葶 | 化學工程學研究所 |
2017 | 雙氧水系統中銅/釕化學機械研磨之電化學特性研究 The Study of Electrochemical Characteristics of Cu/Ru CMP in Hydrogen Peroxide Systems | Yu-Ru Kuo; 郭昱汝 | 化學工程學研究所 |
2015 | 銅/釕化學機械研磨之研磨墊與研磨液的電化學研究 The Electrochemical Study of Polish Pad and Slurry on Cu/Ru Chemical Mechanical Polishing | Chung-An Tsai; 蔡崇安 | 化學工程學研究所 |