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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
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2016 | 在鹼性雙氧水系統中過硫酸銨與奈米級二氧化矽對銅/釕之化學機械研磨研究 Study of Copper / Ruthenium Chemical Mechanical Polishing in alkaline hydrogen peroxide system with ammonium persulfate and nanoscale silica | Po-Wei Chen; 陳伯瑋 | 化學工程學研究所 |
2018 | 在醋酸-雙氧水系統中銅之蝕刻研究 The Study of Copper Etching in Acetic Acid-Hydrogen Peroxide Solutions | Po-Yuan Cheng; 鄭博元 | 化學工程學研究所 |