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符合的文件：
| 出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
|---|---|---|---|
| 2008 | 探討製程對結晶性孔洞型二氧化矽薄膜性質的影響 Studying the effects of processes on crystalline porous low-k silica thin films | Chin-Lin Teng; 鄧志霖 | 化學工程學研究所 |
探索
系所
- 1 化學工程學研究所
學位
- 1 碩士
指導教授
關鍵字
- 1 centrifugation
- 1 crystallinity
- 1 low dielecric constant
- 1 low dielecric constant,thin films
- 1 low dielecric constant,thin films...
- 1 low dielecric constant,thin films...
- 1 low dielecric constant,thin films...
- 1 low dielecric constant,thin films...
- 1 low dielecric constant,thin films...
- 1 porous material
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出版年
- 1 2008
全文授權
- 1 有償授權