搜尋
新增篩選器:
使用篩選器讓結果更精確。
第 1 到 2 筆結果,共 2 筆。
- 上一個
- 1
- 下一個
符合的文件:
出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2020 | 精密晶圓檢測平台的高度穩定軌跡與速度控制 Highly Steady Trajectory and Speed Control of an Ultra-Precision Wafer Inspection Stage | Syuan-You Jhu; 朱軒佑 | 機械工程學研究所 |
2017 | 大行程共平面晶圓檢測平台之精密二維定位控制 Precision 2D Servo Design for a Large Stroke Wafer Coplanar Inspection Stage | Reui-Yang Yu; 余睿洋 | 機械工程學研究所 |