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http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/22840
標題: | 矽奈米線於化學感測器應用之技術研發 chemical sensors based on silicon nanowire devices |
作者: | Fan-Yun Lin 林凡耘 |
指導教授: | 林致廷 |
關鍵字: | 矽奈米線,化學感測器,介電泳,蛋白質固定化,分子辨識器, Si nanowire,chemical sensor,dielectrophoresis,protein immobilization,molecular recognition element, |
出版年 : | 2009 |
學位: | 碩士 |
摘要: | 近年來,採用半導體製程技術製作的化學分子、生物分子感測器,引起廣泛的注意與研究。在本論文當中,我們採用由上至下的製程方法製造出矽奈米線電性元件,並此元件作為化學感測器成功應用於酸鹼值、生物分子的偵測上。
本實驗以奈米金粒子為觸媒,使用低壓化學氣相沉積系統,合成所需的矽奈米線;並藉由介電泳的方式,將被震落在酒精溶液中的矽奈米線,跨接到準備好的電極兩端。最後,加上快速熱退火、保護層製作等後段製程,製造出所使用的矽奈米線元件。 同時,在本實驗中,為了將矽奈米線轉換成化學感測器使用,我們完成了蛋白質固定化的技術;藉由此技術的幫助,我們可以選擇性的在矽奈米線的表面,置放上一層分子辨識器,作為化學分子、生物分子感測之用。 最後,在本論文中,我們成功的將元件應用於酸鹼值的量測、卵白素的量測。 |
URI: | http://tdr.lib.ntu.edu.tw/jspui/handle/123456789/22840 |
全文授權: | 未授權 |
顯示於系所單位: | 電子工程學研究所 |
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