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符合的文件:
出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2015 | 電子束微影之快速顯影技術探討 The Research of Rapid Development Technology in Electron Beam Lithography | Wei-Cheng Rao; 饒偉正 | 電子工程學研究所 |
2017 | 短時間低溫顯影之電子束微影與鄰近效應修正演算法 Short-Time and Low-Temperature Development for Electron-Beam Lithography and the Algorithms of Proximity Effect Correction | Chun Nien; 粘群 | 電子工程學研究所 |
2016 | 電子束微影之低溫短顯影研究 Investigation of electron beam lithography with the low-temperature short-interval development technology | Cheng-Huan Chung; 鍾政桓 | 電子工程學研究所 |
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系所
- 3 電子工程學研究所
關鍵字
- 1 e-beam lithography
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- 3 true