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符合的文件:
出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2016 | 電子束微影之低溫短顯影研究 Investigation of electron beam lithography with the low-temperature short-interval development technology | Cheng-Huan Chung; 鍾政桓 | 電子工程學研究所 |
2011 | 以電子束微影與準分子雷射熱退火技術製作規則排列之結晶奈米鍺點 Fabrication of Ordered Germanium Nanocrystals Using E-beam Lithography and Excimer Laser Annealing | I-Kuan Wu; 吳奕寬 | 電子工程學研究所 |
2012 | 利用硬體結構改善電子束微影中鄰近效應及電荷累積效應 Applying Hardware Structures to Suppress Proximity Effect and Charging Effect in E-beam Lithography | Shao-Wen Chang; 張韶文 | 電子工程學研究所 |
探索
系所
- 3 電子工程學研究所
學位
- 3 碩士
關鍵字
- 2 電子束微影
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- 3 true