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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2017 | 短時間低溫顯影之電子束微影與鄰近效應修正演算法 Short-Time and Low-Temperature Development for Electron-Beam Lithography and the Algorithms of Proximity Effect Correction | Chun Nien; 粘群 | 電子工程學研究所 |
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系所
- 1 電子工程學研究所
學位
- 1 博士
關鍵字
- 1 electron-beam lithography
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- 1 電子束微影
- 1 電子束微影,鄰近效應修正
- 1 電子束微影,鄰近效應修正,顯影模型
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出版年
- 1 2017
全文授權
- 1 有償授權
全文
- 1 true