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出版年 | 標題 | 作者 | 系所 |
---|---|---|---|
2010 | 用碳氟聚合物作為濕蝕刻阻擋層製作鋸齒狀矽光柵結構與其FTIR與拉曼光譜量測 Using Carbon-Fluorine polymer as wet etching mask to fabricate Si sawtooth grating and measuring with FTIR and Raman Spectrum | Chien-Chung Chen; 陳建中 | 電子工程學研究所 |
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系所
- 1 電子工程學研究所
學位
- 1 碩士
關鍵字
- 1 electron beam lithography systems
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- 1 電子束微影系統
- 1 電子束微影系統,非等向性濕蝕刻
- 1 電子束微影系統,非等向性濕蝕刻,rie殘留物
- 1 電子束微影系統,非等向性濕蝕刻,rie殘留物,異常穿透
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出版年
- 1 2010
全文授權
- 1 有償授權
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