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電子工程學研究所
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2006
絕緣層上鍺(矽鍺)技術暨磊晶成長矽鍺奈米結構應用研究
Ge(SiGe)-on-Insulator Technology and SiGe Nanostructure Epitaxial Growth
Cheng-Yeh Yu; 余承曄
電子工程學研究所
探索
系所
1
電子工程學研究所
學位
1
博士
作者
1
余承曄
關鍵字
1
sige,wafer bonding,layer transfer...
1
sige,wafer bonding,layer transfer...
1
sige,wafer bonding,layer transfer...
1
矽鍺技術
1
矽鍺技術,晶圓鍵結
1
矽鍺技術,晶圓鍵結,鍵結檢測
1
矽鍺技術,晶圓鍵結,鍵結檢測,膜層轉移
1
矽鍺技術,晶圓鍵結,鍵結檢測,膜層轉移,氫離子佈植
1
矽鍺技術,晶圓鍵結,鍵結檢測,膜層轉移,氫離子佈植,異質材料
1
矽鍺技術,晶圓鍵結,鍵結檢測,膜層轉移,氫離子佈植,異質材料,皺曲矽鍺層
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出版年
1
2006
全文授權
1
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1
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