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光電工程學研究所
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2009
使用MetalMUMPs技術製作靜電旋轉平台和一維電熱致動器以及多維度之微機電電熱夾
Electrostatic In-plane Comb-drive Rotational Platforms, 1-D Vertical Electrothermal Actuators, and Multiple DOFs MEMS Gripper Fabricated by the MetalMUMPs Process
Dian-Sheng Chen; 陳典聖
光電工程學研究所
探索
系所
1
光電工程學研究所
學位
1
碩士
作者
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陳典聖
關鍵字
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mems
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mems,mems gripper
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mems,mems gripper,electrostatic a...
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mems,mems gripper,electrostatic a...
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mems,mems gripper,electrostatic a...
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mems,mems gripper,electrostatic a...
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微機電
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微機電,靜電致動器
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微機電,靜電致動器,電熱致動器
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微機電,靜電致動器,電熱致動器,微機電電熱夾
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出版年
1
2009
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